บนโต๊ะเปียก ความแตกต่างของอุณหภูมิที่เกิดจากการล้างจะเป็นแบบเงียบๆ—ประเภทที่ค่อยๆ กินผลผลิตไป ฮีตเตอร์มาตรฐานไม่สามารถทำให้เวเฟอร์แห้งได้อย่างสะอาดโดยไม่ทิ้งหยดน้ำที่ขอบหรือทำให้ฟิล์มฟอตโต้เรซิสเครียด เมื่อความสม่ำเสมอของอุณหภูมิแปรปรวน สายการผลิตก็หยุดลง นั่นคือทั้งหมด
การควบคุมอุณหภูมิที่ละเอียดกว่ามิลลิเมตรด้วยการให้ความร้อนอินฟราเรด
เราได้สร้างหลอดไฟอินฟราเรดกันน้ำสำหรับขั้นตอนการล้างโดยใช้คลื่นสั้นอินฟราเรด ทำให้สนามความร้อนถูกควบคุมในระดับละเอียดกว่ามิลลิเมตร อาร์เรย์ของตัวปล่อยถูกปรับให้ตอบสนองได้รวดเร็วและมีโปรไฟล์อุณหภูมิที่สามารถทำซ้ำได้ โดยรักษาความสม่ำเสมอในระดับเวเฟอร์ภายใน ±0.1°C ทั่วทั้งพื้นผิวที่ใช้งาน นี่ไม่ใช่ตัวเลขจากห้องปฏิบัติการ—มันมาจากการควบคุมสเปกตรัมการปล่อยที่แม่นยำ ระยะห่างระหว่างหลอดกับเวเฟอร์ที่แน่นอน และการจัดการความร้อนแบบปิดลูป
ในโลกแห่งความเป็นจริง นั่นหมายความว่าเงื่อนไขการอบเบาและอบแข็งของคุณจะคงที่ แม้หลังจากรอบการล้างที่รุนแรง ไม่มีการเซอร์ไพรส์บนฟิล์มฟอตโต้เรซิส
ทำไมมันจึงทำงานได้ดีในการล้างเซมิคอนดักเตอร์
ในระหว่างการเปลี่ยนจากการล้างไปสู่อบแห้ง หลอดไฟจะกันน้ำอยู่ในตำแหน่งที่ต้องการ ดังนั้นคุณจึงไม่มีความกังวลเรื่องไฟฟ้าในขณะที่ทำการให้ความร้อนกับเวเฟอร์โดยตรง พลังงานจะไปยังจุดที่คุณต้องการ โดยมีการให้ความร้อนที่ไม่พึงประสงค์แก่เฟรมและอากาศในห้องสะอาดน้อยลง
ผลประโยชน์ที่ได้รับ: เวลาทำให้แห้งที่สั้นลง การสร้างอนุภาคที่ต่ำลง และการควบคุมขนาดที่สำคัญอย่างมีเสถียรภาพ ความแปรปรวนของงบประมาณความร้อนลดลง ขยะลดลง และสายการผลิตยังคงเคลื่อนไหว หน่วยเหล่านี้ทำงานได้มากกว่า 5,000 ชั่วโมงโดยมีการลดประสิทธิภาพน้อยกว่า 5% ซึ่งเป็นสิ่งที่คุณต้องการสำหรับการดำเนินงาน 24/7
หมายเหตุการติดตั้งและการใช้งาน
ความทนทานในการติดตั้งนั้นแน่นหนา—ควรรักษาการจัดตำแหน่งของหลอดไฟภายใน ±0.2 mm หากคุณต้องการรักษาความสม่ำเสมอ หลอดไฟทำงานได้ดีที่สุดเมื่อมีน้ำที่ไม่มีไอออนอยู่; การเปิดไฟในขณะที่ไม่มีน้ำจะทำให้เกิดจุดร้อนและลดอายุการใช้งานของตัวปล่อย
คุณจะเห็นการดึงพลังงานในช่วงเริ่มต้นที่สูงขึ้นเล็กน้อยในระหว่างการอุ่น จากนั้นจะปรับลงสู่พลังงานที่คงที่ภายในไม่กี่วินาที ในห้องสะอาดระดับ Class 1–100 ควรจับคู่หลอดไฟกับระบบระบายอากาศและการป้องกันที่ระบุเพื่อรักษาการควบคุมอนุภาคให้แน่นหนาและความเสถียรของอุณหภูมิในจุดที่ต้องการ