सोने से लेपित आईआर लैंप, वेफर प्रसंस्करण हेतु क्यों बेहतरीन विकल्प हैं?
सेमीकंडक्टर निर्माण प्रक्रिया में, गर्मी को नियंत्रित करना बहुत ही महत्वपूर्ण है। इस प्रक्रिया में तेज़ एवं अत्यधिक सटीकता आवश्यक है; लेकिन यदि कोई गलती हो जाए, तो सर्किट नष्ट हो जाता है। ऐसी स्थिति में ही सोने से लेपित शॉर्टवेव इनफ्रारेड लैंप उपयोगी साबित होते हैं।
ये सामान्य हीटिंग तत्व नहीं हैं… इनका उद्देश्य वेफर पर तेज़ गति से बहुत अधिक ऊर्जा भेजना है।
रहस्य तो सोने में ही है।
आमतौर पर, क्वार्ट्ज लैंप से केवल विभिन्न तरंगदैर्घ्यों वाली विकिरणें ही निकलती हैं… लेकिन जब क्वार्ट्ज पर सोने की पतली परत लगाई जाती है, तो सब कुछ बदल जाता है। सोना, विशिष्ट तरंगदैर्घ्यों वाली ऊर्जाओं को आकर्षित करता है, जिससे वेफर में अधिक ऊर्जा पहुँचती है।
परिणाम? गर्मी केवल सतह पर ही नहीं रहती… बल्कि वेफर के अंदर भी जाती है। इससे ऊर्जा की खपत कम हो जाती है… और कार्बन उत्सर्जन भी कम हो जाता है।
गर्मी को नियंत्रित करना
जब 300 मिमी आकार के वेफरों का उपयोग किया जाता है, तो “थोड़ी गर्मी” पर्याप्त नहीं होती… ऐसी स्थिति में उच्च ऊर्जा घनत्व आवश्यक है, ताकि कहीं कोई ठंडा स्थान न बन जाए।
शॉर्टवेव इनफ्रारेड लैंपों की खूबी यह है कि ये ऊर्जा को केवल लक्षित स्थान पर ही भेजते हैं… इससे मशीन का बाकी हिस्सा गर्म नहीं होता।
लेकिन एक समस्या यह है कि इन लैंपों से बहुत अधिक ऊर्जा निकलती है… इसलिए ठंडक व्यवस्था आवश्यक है… अन्यथा फिलामेंट जल्दी ही नष्ट हो जाएंगे। ठंडक बनाए रखने से ही लैंप लंबे समय तक काम करेंगे।
प्रक्रिया को सुधारना
यदि आप अभी भी रेजिस्टिव हीटिंग या लॉन्गवेव इनफ्रारेड लैंपों का उपयोग कर रहे हैं, तो आप पैसे एवं ऊर्जा दोनों ही बर्बाद कर रहे हैं।
सोने से लेपित शॉर्टवेव इनफ्रारेड लैंपों का उपयोग करना, पुरानी प्रणालियों के मुकाबले बहुत ही आसान है… इन्हें प्रीसिज़न कंट्रोलर से जोड़ने पर ही लक्षित तापमान प्राप्त हो जाता है… मिनटों में नहीं, बल्कि सेकंडों में।
यह तो बहुत ही तेज़ प्रक्रिया है… कम ऊर्जा खपत… कम अपशिष्ट… यही तो “ग्रीन फैक्ट्री” लक्ष्यों को पूरा करने का सबसे आसान तरीका है… चिप प्रति किलोवाट की मात्रा कम होने से सभी को लाभ होता है।