वेफरों को सुखाने की प्रक्रिया में, यह कोई ऐसी सरल प्रक्रिया नहीं है जिसे बस चेक कर दिया जाए… यह तो पैटर्नों की अखंडता को बनाए रखने हेतु आवश्यक अंतिम...

300 mm लाइन पर, स्पिन ड्रायर चक्र समाप्त हो जाता है लेकिन वेफर अभी भी गीला रहता है—फीचर्स में फंसा हुआ पानी, किनारों पर पानी की बूंदें। पारंपरिक हॉट...