متوقف کردن خطرات ناشی از شکست لامپها: حفظ تمیزی ویفرها در صورت خرابی لامپها
در سیستمهای نیمههادی با بار بالا، شکست لامپهای مادون قرمز واقعاً یک فاجعه است. وقتی لوله کوارتزی خراب میشود، دیگر فقط داغ نمیکند؛ بلکه منفجر میشود. در نتیجه، تکههای شیشهای و مواد شیمیایی روی سطح ویفرها پخش میشوند. بازدهی کار نیز کاهش مییابد، یا حتی به حد صفر میرسد.
ما زمان زیادی را صرف یافتن راههایی برای جلوگیری از این خطرات کردهایم.
دلایل شکست لولهها
بیشتر لامپها به این دلیل خراب میشوند که گرما به طور یکنواخت توزیع نمیشود. وقتی توان بالایی وارد سیستم میشود، قسمت میانی لوله بسیار داغ میشود، در حالی که انتهای لوله نسبتاً خنک باقی میماند. همین تفاوت دما باعث شکست لوله میشود.
برای رفع این مشکل، از کوارتز سنتتیک با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ این کوارتز تقریباً هیچ تغییر اندازهای ندارد. این امر به این معناست که لوله میتواند در برابر تغییرات ناگهانی توان مقاومت کند، بدون اینکه ترکهای ریزی ایجاد شود که در نهایت منجر به فاجعه شود.
روش «حفاظت»
اما باید واقعبین باشیم: قطعات میتوانند خراب شوند. بنابراین، ما فقط به کوارتز اعتماد نمیکنیم.
ما یک لایه حفاظتی دیگر اضافه کردهایم؛ این لایه مانند یک سپر در اطراف عنصر گرمایشی عمل میکند. اگر لامپ داخلی خراب شود، این سپر تمام ذرات را در خود نگه میدارد؛ در نتیجه، ویفرها تمیز باقی میمانند.
همچنین، در لولهها، درپوشهایی وجود دارد؛ اگر این درپوشها ضعیف باشند، گازها از بین آنها خارج میشوند و فیلامنت لامپ خیلی زود خراب میشود. ما هر درپوش را تحت آزمایش خلأ قرار میدهیم تا مطمئن شویم فشار داخلی برای هزاران ساعت حفظ شود.
توازن بین مزایا و معایب
البته، یک معایبی نیز وجود دارد: قرار دادن سپر بین منبع گرما و ویفر، باعث کاهش کمی انتقال مادون قرمز میشود. شما متوجه این موضوع خواهید شد؛ شاید لازم باشد توان لامپ را افزایش دهید یا زمان لازم برای رسیدن به دمای مورد نظر را طولانیتر کنید.
این یک تغییر کوچک در فرآیند کار است؛ اما در مقایسه با هزینهی دور ریختن کل محمولهی آلوده، این روش منطقیتر است.