مقابله با خرابی لامپها در فرآیند پخت ویفرها
وقتی که فرآیند پخت ویفرها با بار سنگین انجام میشود، خرابی لامپ فقط یک مشکل جزئی نیست؛ بلکه یک فاجعه واقعی است.
اگر لوله کوارتزی لامپ منفجر شود، تکههای شیشهای و رسوبات هالوژنی روی سطح سیلیکون قرار خواهند گرفت؛ در نتیجه، کل محموله ویفرها از بین خواهد رفت. این وضعیت واقعاً آشفتهکننده است.
به همین دلیل، از سیستمهای بازتابنده ایمنی استفاده میکنیم؛ این سیستمها در واقع نوعی بیمه برای ویفرها هستند.
نحوه عملکرد بازتابندهها
این بازتابندهها دو کار را همزمان انجام میدهند: اولاً، انرژی مادون قرمز را به جای مناسب هدایت میکنند؛ دوماً، به عنوان یک سپر فیزیکی عمل میکنند.
ما از آلومینیوم با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ معمولاً این آلومینیوم روکش طلا دارد یا صیقل داده شده تا حرارت کمتری از دست برود. شکل بازتابنده نیز بسیار مهم است؛ زیرا حرارت را مستقیماً روی سطح ویفر متمرکز میکند، در حالی که لوله لامپ در جای خود باقی میماند.
اگر لوله لامپ منفجر شود، بازتابنده بخش عمدهای از تکههای شیشهای را جذب میکند؛ این کار مانع از پرتاب این تکهها به سمت خط تولید میشود.
تعادل در فرآیند تولید ۲۴/۷
وقتی که فرآیند تولید ۲۴/۷ انجام میشود، نمیتوان فقط توان لامپ را افزایش داد و امیدوار به بهترین نتیجه بود؛ بلکه باید گرمای تولید شده را کنترل کرد؛ در غیر این صورت، لامپها خیلی سریع خراب خواهند شد.
ما از محفظههایی با سیستم تهویه استفاده میکنیم تا هوای اطراف بتواند از اطراف لوله لامپ عبور کند.
تعادل لازم این است که اگر زاویه بازتاب را کاهش دهیم، ویفرها سریعتر پخته میشوند؛ اما این کار باعث میشود لوله لامپ داغتر شود. اگر توان لامپ را افزایش دهیم، بدون افزایش قدرت فنهای تهویه، عمر لامپ کوتاه خواهد شد. این یک تعادل بسیار حساس است.
حفظ عملکرد لامپها
هیچ کس نمیخواهد ساعتها وقت صرف تنظیم مسیر نور برای تعویض لامپ کند.
بنابراین، ما جایگزینهایی طراحی کردهایم؛ کافی است لامپ را عوض کنیم و دوباره به کار برگردیم. این کار باعث میشود فضای مورد نیاز کمتر شود و احتمال اشتباه در تنظیمات نیز کاهش یابد.
یک نکته مهم: هر شش ماه یک بار، سطح بازتابنده را بررسی کنید؛ اگر سطح بازتابنده کدر شد، توان حرارتی آن کاهش خواهد یافت؛ در نتیجه، لامپها باید سختتر کار کنند تا به همان استانداردهای قبلی برسند؛ این کار نیز عمر لامپها را کوتاه میکند. اگر سطح بازتابنده را تمیز نگه دارید، لامپها به خوبی کار خواهند کرد.