Hören Sie auf, Energie durch unnötige Wärmeabstrahlung zu verschwenden
Wenn Sie bereits Hochleistungs-Härtungslampen in Ihren Fertigungsmaschinen eingesetzt haben, kennen Sie das Problem. Die Physik spielt hier keine gute Rolle: Herkömmliche Lampen strahlen Wärme in alle Richtungen ab – also in einem Winkel von 360 Grad.
Wenn man in einem begrenzten Raum arbeitet, ist das katastrophal. Die Hälfte der Energie geht dabei einfach an die Innenwände der Maschine verloren, anstatt auf den Wafer zu gelangen. Der Gehäusekörper der Maschine wird somit zu einer Art „Riesen-Heizkörper“. Die Außenwände werden so heiß, dass sie den Bediener verbrennen können. Zudem muss das Kühlsystem überlastet arbeiten, um mit der Wärmebelastung fertigzuwerden. Es ist wirklich ein Chaos.
Eine bessere Lösung für das Problem der Wärmeabstrahlung
Wir lösen dieses Problem, indem wir zertifizierte IR-Härtungslampen verwenden, die über integrierte Reflektoren sowie eine präzise Wellenlängenanpassung verfügen. Anstatt die Wärme überallhin zu strahlen, konzentrieren wir sie auf einen bestimmten Punkt.
Das Ziel ist einfach: Die Photonen sollen direkt auf den Wafer oder das Härtungsmittel treffen. Wir erhöhen nicht einfach nur die Leistung – sondern richten die Wärme genau dorthin, wo sie hingehört.
Sicherheit und langfristige Nutzung
Wenn man aufhört, die Wände der Maschine zu erhitzen, passieren einige Vorteile. Erstens bleibt das Gehäuse der Maschine kühl. Man muss sich keine Sorgen machen, dass jemand versehentlich die heißen Wände berührt. Zudem können die Lüftungssysteme der Maschine endlich wieder normal funktionieren.
Aber es gibt auch einen Nachteil: Da die gesamte Energie auf einen Punkt konzentriert wird, ist die Wärmedichte sehr hoch. Wenn die Zeitpunkte falsch gewählt sind oder die Entfernung zu groß ist, kann das Substrat beschädigt werden. Man sollte sicherstellen, dass die PID-Controller richtig eingestellt sind, damit sie mit diesen schnellen Temperaturänderungen umgehen können.
Einbau in die Fertigungsmaschine
Das Beste daran ist, dass diese Lampen als Ersatz für die herkömmlichen IR-Lampen geeignet sind. Man muss sie einfach in die bestehenden Stromkreise anschließen – und schon funktionieren sie.
Der Unterschied ist sofort spürbar. Da innen in der Maschine keine Hitze entsteht, bleiben die Sensoren länger kalibriert und die internen Komponenten werden nicht beschädigt. Dadurch funktioniert das gesamte System reibungsloser.