Hören Sie auf, zuzulassen, dass Ihre Heizungen Ihre Wafer ruinieren! In einem Reinraum der Klasse 100 reicht bereits ein winziger Staubkorn aus, um...

Verhindern Sie Schäden durch Splitter: Halten Sie Ihre Wafer während des IR-Trocknungsprozesses sauber Wenn Sie MEMS-Sensor produzieren, wissen Sie,...

Bei der Nach-CMP-Behandlung hinterlassen die verwendeten Heizgeräte Mikrodroplets auf dem Wafer. Diese können zu Defekten führen, falls das...

Bei der Trocknung von Wafern ist dies keine rein passive Prozessschritte – es handelt sich dabei vielmehr um die letzte Wärmebehandlung, bevor die...

Auf der 300 mm Linie fährt der Spin-Trockner herunter und der Wafer ist noch feucht – Wasser, das in Strukturen eingeschlossen ist, Wasserperlen an...