In der Fertigungshalle ist das Erhitzen des Fotoresists nicht einfach nur ein weiterer Schritt – es handelt sich dabei vielmehr um einen wichtigen thermischen Prozess. Selbst eine Abweichung von 2°C während des Erhitzungsprozesses kann dazu führen, dass die Kontrolle über die genauen Abmessungen sowie die Qualität der Produkte beeinträchtigt wird. Wir haben unsere Heizlampen aus Quarz entwickelt, damit diese auch bei wiederholten Prozessen konstante Temperaturen halten können.
Was wirklich wichtig ist: Der Lampenkörper besteht aus reinem Quarz – schlicht und einfach. Hohe Reinheit sowie geringe Gasemissionen sind genau das, was man braucht, wenn man mit schnellen thermischen Zyklus arbeitet. Kurzwellenneinheiten sorgen für eine schnelle Reaktion sowie gezielte Erwärmung, sodass die Temperatur im Quarzbett exakt auf dem gewünschten Niveau bleibt. Die Temperaturgleichmäßigkeit im gesamten Quarzbett beträgt ±0,1°C – dadurch bleibt die Wiederholgenauigkeit hoch.
Im Rahmen der Verarbeitung des Fotoresists sorgt diese Stabilität dafür, dass Viskosität und Entfernung der Lösungsmittel in den erforderlichen Grenzen bleiben. Zudem sorgt die versiegelte Konstruktion dafür, dass Emissionen minimiert werden und die Reinigung einfacher fällt.
Warum das in der Produktion wichtig ist: Bei der Lithografie ist es entscheidend, eine stabile Temperatur zu gewährleisten – schließlich darf es keinerlei unerwartete Ausfälle geben. Diese Lampen stabilisieren das Erhitzungsprofil, reduzieren die Notwendigkeit von Nacharbeiten und verhindern, dass die Anzahl der Partikel durch wiederholte Prozesse zunimmt. Die schnelle Erwärmung verkürzt die Prozesszeit, während konstante Temperaturen zur besseren Gleichmäßigkeit der Linienbreiten beitragen und so Abfälle reduzieren.
Die Wärme wird nur dann bereitgestellt, wenn sie benötigt wird – dadurch sind die Stillstandskosten minimal und der Energieverbrauch bleibt angemessen. Auf der Produktionslinie bedeutet das weniger Unregelmäßigkeiten, vorhersehbare Erhitzungsergebnisse sowie ein konsistentes Verhalten des Fotoresists von Charge zu Charge.
Was man beachten sollte: Beim Einbau muss die Größe der Lampe sowie die Anschlüsse auf die entsprechenden Öffnungen im Gerät abgestimmt werden. Außerdem muss ausreichend Abstand zum elektrischen Netz gewahrt bleiben, damit die Lampe sicher bedient werden kann. Die Lampe funktioniert am besten, wenn das Quarzbett zur thermischen Masse der Lampe passt – andernfalls kann die Temperaturgleichmäßigkeit beeinträchtigt werden.
Nach einem Wechsel des Werkzeugs sollte die Lampe kurz vorgewärmt werden, damit das thermische Gleichgewicht wiederhergestellt werden kann. Das sorgt dafür, dass die Wiederholgenauigkeit beim Erhitzen des Fotoresists auf dem gewünschten Niveau bleibt.