Giữ cho mọi thứ luôn mát mẻ và an toàn khi nung nóng các tấm wafer
Khi nung nóng các tấm wafer trong khu vực vệ sinh hóa chất, bạn đang phải cân bằng giữa việc sử dụng đủ nhiệt lượng để hoàn thành công việc và việc tránh nguy cơ cháy nổ. Việc sử dụng đèn hồng ngoại gần các chất lỏng dễ cháy không chỉ nguy hiểm mà còn gây ra nhiều rủi ro khác nữa.
Chúng tôi giải quyết vấn đề này bằng cách tập trung vào hai yếu tố: việc bao bọc đèn một cách kín đáo và việc tính toán kỹ lưỡng khoảng cách an toàn. Mục tiêu là đảm bảo rằng bề mặt đèn không bao giờ đạt đến nhiệt độ có thể khiến các chất lỏng dễ cháy bùng cháy.
Lớp bảo vệ: Bao bọc đèn
Chúng tôi không thể chỉ đơn giản đặt ống thạch anh vào bên trong đèn rồi hy vọng mọi thứ sẽ ổn. Các đèn của chúng tôi được bao bọc bởi lớp vỏ bảo vệ kín đáo. Hãy coi đó như một “vệ sĩ” bảo vệ các bộ phận điện tử khỏi những chất độc hại. Nếu đèn bị hỏng, lớp bảo vệ này sẽ ngăn không cho khí halogen bên trong phản ứng với các chất hóa học có mặt xung quanh.
Chúng tôi cũng sử dụng lớp phủ đặc biệt trên ống thạch anh. Lớp phủ này giúp điều chỉnh quang phổ phát ra, sao cho nhiệt lượng được tập trung vào chính vị trí cần nung nóng, thay vì làm nóng toàn bộ thân máy.
Tính toán khoảng cách an toàn
Việc xác định khoảng cách an toàn không phải là việc suy đoán mù quáng. Nó phụ thuộc vào công suất của đèn và điểm cháy của các chất hóa học được sử dụng. Bạn cần thiết lập khoảng cách sao cho lớp vỏ bảo vệ luôn ở dưới nhiệt độ nguy hiểm của các chất hóa học. Chúng tôi thường khuyến nghị khoảng cách tối thiểu để không khí có thể lưu thông được.
Tuy nhiên, có xu hướng muốn đặt đèn gần tấm wafer hơn để rút ngắn thời gian nung nóng. Đừng làm vậy! Bạn có thể làm cho thân máy bị quá nóng. Nếu làm vậy, bạn sẽ cần dùng quạt làm mát công suất lớn hơn để loại bỏ nhiệt lượng từ phía sau đèn.
Sự hy sinh cần thiết
Các đèn bước sóng ngắn công suất cao có tốc độ nhanh thật. Nhưng chúng tạo ra những điểm nóng cực kỳ mạnh. Khi làm việc trong khu vực dễ nổ, sức mạnh quá lớn của đèn có thể gây nguy hiểm. Để đảm bảo an toàn, chúng tôi thường hy sinh một chút tốc độ để đổi lấy lớp vỏ bảo vệ lớn hơn hoặc bộ phản xạ ánh sáng được điều chỉnh phù hợp. Điều này giúp phân tán nhiệt lượng. Dĩ nhiên, quá trình nung nóng sẽ chậm hơn một chút, nhưng điều đó vẫn tốt hơn là để phòng vệ sinh bị nổ tung.