Trong quá trình làm mỏng wafer, việc cung cấp nhiệt là một thao tác đòi hỏi sự kiểm soát chính xác về mặt nhiệt độ. Silic có thể bị nứt khi nhiệt độ không được kiểm soát tốt; chỉ cần chênh lệch nhiệt độ 2°C trên bề mặt wafer cũng có thể gây ra sự không đồng đều về áp suất, từ đó dẫn đến tỷ lệ sản phẩm lỗi cao. Chúng tôi đã thiết kế hệ thống sưởi bằng tia hồng ngoại sao cho có khả năng cung cấp nhiệt một cách nhanh chóng và chính xác, trong khi vẫn duy trì nhiệt độ ổn định ở mức ±0,1°C trên toàn bộ bề mặt wafer.
Điều quan trọng nhất là yếu tố vật lý và khả năng kiểm soát nhiệt độ. Hệ thống này sử dụng bước sóng hồng ngoại phù hợp với các vùng hấp thụ năng lượng mạnh của silic, giúp năng lượng được truyền vào wafer một cách nhanh chóng mà ít gây nóng lên bề mặt wafer. Nhiệt độ được đo trực tiếp tại chỗ và được giữ ổn định ở mức ±0,1°C, điều này giúp việc kiểm soát quy trình trở nên dễ dàng hơn. Môi trường làm việc trong phòng sạch cũng rất quan trọng – các linh kiện được chọn phải phù hợp với tiêu chuẩn Class 1–100, giúp giảm thiểu sự tạo ra các hạt bụi, từ đó việc kiểm tra theo tiêu chuẩn ISO Class 5 cũng trở nên dễ dàng hơn.
Lý do tại sao phương pháp này hiệu quả trong thực tế là vì nó cung cấp nhiệt một cách nhanh chóng nhưng đồng thời đảm bảo sự đồng đều về nhiệt độ. Mô-đun hồng ngoại giúp tăng nhiệt độ nhanh chóng mà không gây ra các điểm nóng, từ đó giúp duy trì độ dày của wafer ổn định và giảm thiểu số lượng sản phẩm lỗi do các vết nứt nhỏ gây ra. Kết quả là giảm số lượng sản phẩm cần sửa chữa, tăng độ ổn định trong quá trình sản xuất, và có thể dự đoán được nhiệt độ trong từng lần sản xuất. Việc sử dụng năng lượng cũng được giảm bớt, vì nguồn năng lượng được sử dụng rất hiệu quả và thời gian xử lý cũng ngắn hơn.
Một lưu ý quan trọng: mô-đun này có kích thước nhỏ, nhưng nó cần nguồn điện sạch và dữ liệu về khả năng phát xạ nhiệt của wafer. Bạn nên thực hiện một vài thử nghiệm để xác định các thông số cần thiết, đồng thời kiểm tra xem công cụ hiện có có thể xử lý các tín hiệu nhiệt được truyền vào hay không. Khi mọi thứ đã được chuẩn bị ổn thỏa, quy trình sản xuất sẽ diễn ra một cách ổn định, đúng như yêu cầu của ngành sản xuất semiconductors.