Ngăn chặn các mảnh vụn gây hại: Giữ cho wafer sạch sẽ trong quá trình sấy bằng tia hồng ngoại
Nếu bạn đang sản xuất cảm biến MEMS, bạn chắc hẳn biết rằng giai đoạn sấy chính là lúc mọi thứ có thể trở nên tồi tệ. Hãy tưởng tượng: chiếc đèn hồng ngoại bị hỏng dưới áp lực lớn. Ngay lập tức, những mảnh thủy tinh và sợi wolfram sẽ rơi xuống các wafer của bạn. Đó thực sự là một cơn ác mộng. Chỉ cần một chiếc đèn bị hỏng thôi cũng đủ để phá hủy toàn bộ lô sản phẩm.
Chúng tôi đã dành rất nhiều thời gian để tìm cách ngăn chặn điều này xảy ra.
Tại sao đèn lại bị hỏng?
Thông thường, nguyên nhân là do áp lực nhiệt hoặc những tạp chất trong quặng thạch anh. Để khắc phục điều này, chúng tôi sử dụng thạch anh tổng hợp có độ tinh khiết cao. Điều này giúp việc phân bố nhiệt đều khắp ống đèn.
Chúng tôi cũng rất chú trọng đến việc đặt sợi dây tóc đúng vị trí. Nếu sợi dây tóc lệch chút xíu thôi, sẽ xuất hiện những điểm nóng. Điều này khiến thạch anh yếu đi, và cuối cùng sẽ bị hỏng.
Tạo ra lớp bảo vệ
Để tránh cho các mảnh vụn tiếp xúc với wafer, chúng tôi không chỉ hy vọng vào may mắn. Chúng tôi sử dụng lớp vỏ bảo vệ bằng thạch anh hoặc lớp phủ chống vỡ. Điều này giúp bảo vệ wafer khỏi các mảnh vụn.
Ngoài ra, chúng tôi còn sử dụng các đầu nối được gia cố chắc chắn. Điều này giúp ngăn chặn hiện tượng điện arcing. Hiện tượng arcing không chỉ làm hỏng đèn mà còn khiến bụi kim loại lan tỏa khắp buồng sấy.
Cân bằng giữa hiệu suất và tính an toàn
Việc sử dụng tia hồng ngoại để sấy luôn đòi hỏi sự cân bằng giữa hiệu suất và tính an toàn. Bạn có thể tăng công suất đèn để sấy nhanh hơn, nhưng điều đó sẽ khiến thạch anh tiếp xúc nhiều hơn với nhiệt độ cao, dẫn đến việc đèn bị hỏng sớm hơn.
Chúng tôi thiết kế các thiết bị này để hoạt động 24/7. Bạn vẫn có thể duy trì hiệu suất sấy tốt, và quan trọng hơn, các wafer vẫn giữ được trạng thái sạch sẽ, vì các mảnh vụn không thể xâm nhập vào quá trình sản xuất.