Xử lý tình trạng bóng đèn hỏng trong quá trình xử lý wafer
Khi tiến hành quá trình xử lý wafer với công suất cao, việc bóng đèn hỏng không chỉ gây ra những phiền toái nhỏ mà còn dẫn đến việc dừng máy sản xuất. Đó thực sự là một thảm họa.
Nếu ống thủy tinh bị vỡ, những mảnh thủy tinh và chất halogen sẽ rơi xuống bề mặt wafer. Kết quả là toàn bộ lô wafer bị hư hỏng. Thật là một tình trạng tồi tệ.
Đó là lý do tại sao chúng tôi sử dụng hệ thống phản xạ ánh sáng chuyên dụng. Đó chính là “bảo hiểm” cho wafer của bạn.
Cách hoạt động của hệ thống phản xạ ánh sáng
Những bộ phản xạ này đồng thời thực hiện hai chức năng: truyền năng lượng hồng ngoại đến nơi cần thiết, đồng thời đóng vai trò như lớp bảo vệ. Chúng tôi sử dụng nhôm có độ tinh khiết cao – thường được mạ vàng hoặc được đánh bóng đến mức gần như phản chiếu ánh sáng hoàn hảo – để tránh việc mất nhiệt. Hình dạng của bộ phản xạ cũng rất quan trọng; nó giúp tập trung nhiệt vào bề mặt wafer, đồng thời bảo vệ ống đèn khỏi bị hư hại.
Nếu ống đèn bị vỡ, bộ phản xạ sẽ giúp giữ lại phần lớn các mảnh vỡ, ngăn chúng bay vào dây chuyền sản xuất và gây ra thảm họa.
Việc cân bằng giữa việc sản xuất 24/7 và việc bảo vệ đèn
Khi phải hoạt động 24/7, bạn không thể chỉ tăng công suất máy móc mà hy vọng mọi thứ sẽ ổn. Bạn cần kiểm soát lượng nhiệt phát sinh, nếu không ống đèn sẽ bị hỏng rất nhanh. Chúng tôi thiết kế các vỏ bọc thông gió để không khí có thể lưu thông xung quanh đầu ống đèn.
Đây chính là điểm cân bằng khó khăn: nếu bạn điều chỉnh góc phản xạ để tăng tốc độ xử lý wafer, thì ống đèn sẽ hoạt động ở nhiệt độ cao hơn. Nếu bạn tăng công suất đèn mà không tăng cường hệ thống thông gió, thì tuổi thọ của đèn sẽ bị rút ngắn. Đó là một sự cân bằng rất tinh tế.
Giữ cho hệ thống hoạt động ổn định
Không ai muốn mất hàng giờ để điều chỉnh lại đường truyền ánh sáng chỉ vì muốn thay bóng đèn. Vì vậy, chúng tôi thiết kế những bóng đèn có thể thay thế ngay lập tức. Bạn chỉ cần thay bóng đèn và tiếp tục công việc. Điều này giúp giảm diện tích chiếm dụng, đồng thời giảm nguy cơ xảy ra sai sót trong quá trình bảo trì vào ban đêm.
Một mẹo nhỏ: hãy kiểm tra bề mặt phản xạ của bóng đèn mỗi 6 tháng một lần. Nếu bề mặt bị mờ đi, công suất phát nhiệt của bóng đèn sẽ giảm. Lúc đó, bóng đèn sẽ phải hoạt động với công suất cao hơn để đạt được cùng mức độ xử lý như trước – điều này sẽ rút ngắn tuổi thọ của bóng đèn. Hãy giữ cho bề mặt phản xạ luôn sáng bóng để bóng đèn có thể hoạt động ổn định.