Ngăn chặn tình trạng vỡ ống đèn: Giữ cho các tấm wafer sạch sẽ khi đèn bị hỏng
Trong môi trường sản xuất bán dẫn có áp lực cao, việc đèn hồng ngoại bị vỡ quả là một thảm họa. Khi ống thủy tinh bị vỡ, nó không chỉ ngừng hoạt động mà còn nổ tung. Những mảnh thủy tinh và chất hóa học sẽ rơi xuống bề mặt các tấm wafer. Điều này khiến hiệu suất sản xuất giảm sút nghiêm trọng, thậm chí dẫn đến việc sản phẩm bị hỏng hoàn toàn.
Chúng tôi đã dành rất nhiều thời gian để tìm cách loại bỏ nguy cơ này từ trước khi nó xảy ra.
Tại sao ống đèn lại bị vỡ?
Hầu hết các đèn bị vỡ do nhiệt không được phân bố đều. Khi công suất đèn quá cao, phần giữa ống sẽ bị nóng cháy, trong khi hai đầu ống vẫn còn khá mát. Chính sự chênh lệch nhiệt độ này khiến ống bị vỡ.
Để khắc phục vấn đề này, chúng tôi sử dụng thủy tinh tổng hợp có độ tinh khiết cao. Loại thủy tinh này ít bị giãn nở hơn so với loại thủy tinh rẻ tiền. Điều này giúp ống có thể chịu được những dao động nhiệt độ mạnh mà không bị nứt nhỏ, từ đó tránh được thảm họa.
Giải pháp “an toàn”
Nhưng thực tế là các linh kiện vẫn có thể bị hỏng. Vì vậy, chúng tôi không chỉ dựa vào chất lượng của thủy tinh để bảo vệ các tấm wafer. Chúng tôi còn sử dụng một lớp bảo vệ bổ sung – một lớp vỏ bảo vệ bao quanh bộ phận phát nhiệt. Nếu đèn bên trong bị vỡ, lớp vỏ bảo vệ sẽ giữ lại tất cả các mảnh vụn. Nhờ vậy, các tấm wafer vẫn được bảo vệ kỹ lưỡng.
Ngoài ra, chúng tôi còn kiểm tra kỹ lưỡng các chi tiết kín để đảm bảo rằng khí bên trong không bị rò rỉ. Nếu có rò rỉ, chu trình hoạt động của đèn sẽ bị gián đoạn, và sợi dây tóc của đèn sẽ bị cháy sớm.
Nhược điểm của giải pháp này
Tuy nhiên, việc sử dụng lớp bảo vệ cũng có nhược điểm. Việc này khiến một phần ánh sáng hồng ngoại không thể truyền trực tiếp đến các tấm wafer. Bạn sẽ cần điều chỉnh mức công suất hoặc tăng thời gian chiếu sáng để đạt được nhiệt độ mong muốn. Đó chỉ là những điều chỉnh nhỏ trong quy trình sản xuất. Nhưng so với chi phí phải vứt bỏ cả lô sản phẩm bị nhiễm bẩn, thì đó quả là một giải pháp hợp lý.