Боротьба з несправностями ламп під час обробки вафер
Під час інтенсивної обробки вафер несправна лампа є справжньою проблемою – це не просто дратівлива ситуація чи короткочасна зупинка роботи. Це справжній кошмар.
Якщо кварцова трубка розривається, у результаті на поверхню кремнію потрапляють уламки скла та осади галогену. В результаті вся партія вафер стає непридатною до використання. Це справжній безлад.
Саме тому ми використовуємо спеціальну систему відбивачів світла. Це своєрідна „страховка“ для вафер.
Як фактично працюють відбивачі
Ці відбивачі виконують дві функції одночасно: вони направляють інфрачервону енергію туди, де вона потрібна, а також слугують фізичним захистом.
Ми використовуємо алюміній високої чистоти – зазвичай покритий золотом чи полірований до дзеркального блиску – щоб не втрачати тепло. Форма відбивача є ключем до ефективної роботи: вона фокусує тепло саме на поверхні вафера, при цьому трубка лампи залишається у захищеному стані.
Якщо трубка розривається, відбивач затримує більшу частину уламків. Це запобігає їх розлітанню по всій лінії виробництва та появі катастрофи.
Баланс між 24/7 виробництвом та ефективністю
Коли ви працюєте 24/7, ви не можете просто збільшити потужність та сподіватися на краще. Потрібно контролювати рівень тепла, інакше трубки ламп будуть швидко зношуватися.
Ми використовуємо корпуси з вентиляцією, щоб повітря могло циркулювати навколо кінців трубки. Однак якщо збільшити кут відбиття світла, процес обробки вафер прискориться. Але це також призведе до того, що трубка буде працювати в більш високих температурах. Якщо збільшити потужність без посилення системи вентиляції, це лише прискорить знос лампи. Це складний баланс.
Підтримка стабільної роботи
Ніхто не хоче витрачати години на переналаштування оптичного шляху лише для заміни лампи. Тож ми створили лампи, які можна просто замінити. Це дозволяє зменшити ризик пошкодження оптичного шляху під час технічного обслуговування.
Один порада: перевіряйте поверхню відбивача на наявність оксидування кожні шість місяців. Якщо поверхня стає тусклою, потужність відбиття світла зменшується. Лампи будуть працювати в більш високих температурах, що, звісно, скорочує їх термін служби. Якщо поверхню тримати блискучою, лампи будуть продовжувати працювати.