Під час процедури післяCMP залишаються мікрокраплі вологи, які можуть стати дефектами, якщо профіль сушіння зміниться. Навіть незначна зміна температури може призвести до зміни поведінки фотоотповідача під час подальшого оброблення. Крім того, утворення частинок під час нагрівання також негативно впливає на якість продукту. Необхідно, щоб температура залишалась в межах заданих значень та щоб у приміщенні панувала чистота.
Що є важливим у цій системі
Ми розробили цей нагрівач саме для вузьких параметрів, які вимагає процедура післяCMP. Галогенні лампи забезпечують швидку та стабільну реакцію, а кварцове скло ізолює камеру від корпусу лампи, що допомагає зменшити кількість частинок. Рівномірність температури по всій поверхні пластини становить ±0,1°C, а однаковість результатів при кількох процедурах – більше ніж ±0,2°C. Цілеві значення температури контролюються з високою точністю як під час м’якого, так і жорсткого сушіння, що дозволяє зберігати критичні параметри продукту. Система призначена для використання в чистих приміщеннях класу 1–100; кожен матеріал обирається з метою мінімізації випаровування та утворення частинок. Сила живлення підбирається відповідно до характеристик платформи, а інтерфейс розроблений так, щоб можна було легко його інтегрувати в існуюче обладнання.
Чому ця система ефективна на практиці
Під час сушіння післяCMP нагрівач повинен ефективно видаляти залишкову вологу з поверхні пластини, не спричиняючи при цьому швидкого випаровування розчинників. Ця висока рівномірність температури запобігає утворенню крапель води та деформації поверхні, а чистота середовища допомагає контролювати кількість частинок на поверхні. Це призводить до більш стабільних результатів літографії, меншої кількості переробок та можливості планування часу виконання процедур. Використання енергії контролюється завдяки ефективній роботі ламп та розумному управлінню теплом, що дозволяє знизити операційні витрати без зниження швидкості обробки. Надійність системи забезпечується завдяки компонентам, які дозволяють їй працювати 24/7, а також завдяки мінімізації неспланованих зупинок.
Що потрібно врахувати під час використання
Встановлення нагрівача полягає у врахуванні геометрії камери та напрямку потоку повітря. Ми постачаємо необхідні комплекти для монтажу та карту теплового профілю, але все одно необхідно перевірити правильність налаштувань під час запуску системи. З моменту розміщення компонентів на свої місця необхідно дотримуватися правил чистоти та контролю статичної електрики. Нагрівач працює в межах заданих параметрів лише в певному діапазоні температури; поза цим діапазоном контроль температури стає менш ефективним. Щоб система продовжувала працювати, необхідно планувати заміну компонентів відповідно до терміну служби ламп та періоду перевірки кварцового скла.