На літографічному полі під час використання фотополімеру не можна економити на процедурі нагрівання. Навіть зміна температури на 1°C під час м’якого чи жорсткого нагрівання може призвести до зміни критичних розмірів деталей та порушення профілю бічних стінок. Коли на пластині виникає температурна нерівномірність, це призводить до втрати продуктивності, необхідності повторної обробки та відкидання цілих партій продукції. Ми розробили нагрівач на основі напівпровідникових лазерних діодів, який забезпечує стабільну температуру на рівні ±0,1°C – саме такий рівень є прийнятним для вашого процесу.
Що є важливим у процесі нагрівання
Ми використовуємо лазерні діоди з закритим контуром керування, що забезпечує швидке та точне нагрівання без утворення „гарячих точок“ на пластині. Це дає можливість досягти рівномірності температури на рівні ±0,1°C у всій зоні нагрівання, а також стабільності значень на рівні ±0,05°C між окремими партіями продукції. Платформа призначена для використання в чистих приміщеннях класу від 1 до 100; матеріали та поверхневі обробки обрані так, щоб уникнути утворення частинок під час нагрівання та охолодження. Постачання енергії залишається стабільним протягом усього часу роботи – наші пристрої працюють понад 5 000 годин із втратою потужності менше 5%.
Чому це важливо під час обробки фотополімеру
Точність температури впливає на процеси видалення розчинників, перехресного зв’язування молекул та, в кінцевому підсумку, на стійкість поверхні до етchingу. Завдяки нагрівачу на основі лазерних діодів можна контролювати температуру на кожному етапі процесу, що дозволяє зменшити варіації критичних розмірів та покращити якість поверхні. Також скорочуються часи нагрівання завдяки швидкій реакції на зміни температури, знижується споживання енергії, а також зменшується кількість перерв у роботі обладнання. Цей нагрівач може бути використаний у існуючих системах нанесення покриттів та нагрівання, що дозволяє підтримувати стабільність процесу.
Що потрібно врахувати під час встановлення
Під час встановлення необхідно правильно налаштувати оптичний шлях та переконатися у сумісності систем відведення газів та охолодження. Нагрівач буде працювати найкраще, якщо умови на зворотній стороні пластини будуть стабільними – наявність плівок, залишків чи деформацій може вплинути на процес нагрівання.Необхідно також провести короткий тестовий запуск, щоб визначити профіль температури для конкретної пластини та налаштувати систему керування відповідно до швидкості роботи обладнання.