Het behouden van een koele (en veilige) omgeving bij het verhitten van wafers
Wanneer je wafers verhit in een chemische reinigingszone, beweeg je je feitelijk op een slappe koord. Je hebt voldoende hitte nodig om het werk te klaren, maar als je te veel druk uitoefent, loop je het risico dat er een ontsteking optreedt. Het gebruik van een gewone infraroodlamp in de buurt van brandbare oplossingen is niet alleen gevaarlijk – het is ook een risico voor de veiligheid.
We lossen dit probleem op door ons te richten op twee belangrijke aspecten: gespecialiseerde bescherming en zorgvuldige berekeningen met betrekking tot de veiligheidsafstanden. Het doel is eenvoudig: ervoor zorgen dat het oppervlak van de lamp nooit de temperatuur bereikt waarbij de dampen kunnen ontbranden.
De bescherming: Encapseling
We stoppen de kwartstube niet zomaar ergens neer in de hoop dat alles goed gaat. Onze lampen zijn omhuld door een hermetisch afgesloten laag en een beschermend buitenframe. Stel je dit voor als een bodyguard: deze laag houdt de schadelijke, corrosieve gassen weg van de elektrische verbindingen. En als de lamp per ongeluk kapotgaat? De encapseling voorkomt dat het interne halogeengas reageert met de chemicaliën die zich in de buurt bevinden.
Op het hoogwaardige kwarts gebruiken we ook een speciale coating. Deze coating zorgt er namelijk voor dat de uitgestraalde hitte precies op de juiste plek terechtkomt, zodat het chassis van de machine niet oververhit raakt.
De berekeningen: Veiligheidsafstanden
Het bepalen van de juiste veiligheidsafstand is geen kwestie van gokken. Het hangt af van de vermogenssterkte van de lamp en de brandpunttemperatuur van de chemicaliën die worden gebruikt. Je moet de afstand zo instellen dat het buitenframe zich ver boven de kritieke temperatuur van de reinigingsmiddelen bevindt. We raden meestal aan om voldoende ruimte te laten, zodat er lucht kan circuleren.
Het gevaar is dat het verleidelijk is om de lamp dichter bij de wafers te plaatsen, zodat het proces sneller verloopt. Doe dit echter niet. Anders kan het chassis van de machine oververhit raken. In dat geval heb je veel grotere koelventilatoren nodig om de hitte weg te halen.
Het compromis
Lampen met een hoge vermogenssterkte werken snel. Heel snel zelfs. Maar ze creëren ook intense hittepunten. Wanneer je in een explosieve omgeving werkt, kan zoveel energie gevaarlijk zijn. Om de veiligheid te waarborgen, geven we soms wat snelheid op in ruil voor een groter formaat of een aangepaste reflector. Dit zorgt er namelijk voor dat de hitte beter verdeeld wordt. Natuurlijk zal het proces dan iets langzamer verlopen, maar dat is nog steeds beter dan dat de zuiverruimte ontploft.