Op de productielijn is het drogen van de fotoresist geen gewone stap – het is eerder een soort ‘thermische uitwisseling’. Als de temperatuur tijdens het drogen zelfs maar 2°C afwijkt van het gewenste niveau, dan heeft dat gevolgen voor de precisie en kwaliteit van het eindproduct. Wij hebben onze verwarmingselementen gemaakt van gehard kwarts, zodat deze de temperatuur consistent kunnen behouden, cyclus na cyclus.
Wat belangrijk is achter de schermen
Het lichaam van de lamp bestaat uit gehard kwarts – eenvoudig en effectief. Het heeft een hoge zuiverheid en produceert weinig gassen. Dit is precies wat nodig is wanneer er snel temperaturen worden bereikt. De kortegolvige infraroodstraling zorgt voor een snelle reactie en gecontroleerde verhitting, zodat de temperatuur op het juiste niveau blijft. De temperatuurverschillen over het hele oppervlak blijven binnen ±0,1°C, waardoor de reproducibiliteit hoog blijft.
Bij het verwerken van fotoresist zorgt deze stabiliteit ervoor dat de viscositeit en het verwijderen van oplosmiddelen binnen de vereiste grenzen blijven. Bovendien zorgt de afgesloten constructie met controle op de hoeveelheid deeltjes ervoor dat er weinig emissies zijn en dat het schoonmaken gemakkelijk gaat.
Waarom dit belangrijk is in de productie
Bij lithografie is het belangrijk om de temperatuur nauwkeurig te kunnen controleren en om onverwachte stilstandtijden te voorkomen. Deze lampen zorgen voor een stabiel temperatuurbereik, verminderen het aantal herwerkingsstappen en voorkomen dat het aantal deeltjes toeneemt na meerdere processtappen. De snelle temperatuurstijging verkort de tijd die nodig is voor het proces, terwijl de stabiele temperatuurwaarden zorgen voor een constante breedte van de lijnen en minder afval.
De warmte wordt op demand geleverd, zodat er minimale verliezen zijn en de energieverbruik beperkt blijft. Hierdoor zijn er minder afwijkingen in de temperatuur en is de prestatie van de fotoresist consistent van batch tot batch.
Wat je moet onthouden
Tijdens de installatie moet je ervoor zorgen dat de lampen passen in de verwarmingssloten in het apparaat. Ook is het belangrijk om voldoende ruimte te houden tussen de lampen, zodat ze veilig kunnen worden onderhouden. De lampen werken het beste wanneer de kwartskommen goed passen bij hun thermische massa. Als de kommen niet goed passen, zal de temperatuurregulatie niet goed functioneren.
Na een wijziging van het apparaat, moet de lamp eerst even worden opgewarmd om het thermische evenwicht weer te herstellen. Dit zorgt er namelijk voor dat de reproducibiliteit van het drogen van de fotoresist op het gewenste niveau blijft.