Tijdens het proces na CMP blijven er mikrodruppels over die defecten kunnen veroorzaken als het droogproces niet perfect verloopt. Als de temperatuur zelfs maar één graad verschilt, verandert het gedrag van de fotoresist tijdens het volgende droogproces. Bovendien leidt het ontstaan van deeltjes tijdens het opwarmen tot een verminderde kwaliteit van het product. Er is dus behoefte aan een temperatuur die binnen de benodigde grenzen blijft en die bovendien schoon blijft.
Wat belangrijk is We hebben deze heater ontworpen voor de beperkte mogelijkheden die er na CMP zijn. Halogeenlampen zorgen voor een snelle en stabiele reactie, terwijl het kwartsvenster de kamer scheidt van de lamp zelf, zodat het aantal deeltjes minimaal blijft. De temperatuuruniformiteit over het hele plakje blijft binnen ±0,1°C, met een herhalbaarheid van meer dan ±0,2°C tussen verschillende batches. De instellingen worden nauwkeurig gereguleerd, zodat de belangrijke dimensies en profielen constant blijven. Het systeem is geschikt voor gebruik in schone kamers van klasse 1–100. Alle gebruikte materialen zijn zodanig gekozen dat uitgasing en het vrijkomen van deeltjes wordt geminimaliseerd. De benodigde energie wordt aangepast aan de behoeften van het apparaat, en de interface is zo ontworpen dat het gemakkelijk kan worden geïntegreerd in bestaande apparaten.
Waarom het in de praktijk werkt Tijdens het droogproces na CMP moet de heater de overtollige vochtigheid van het plakje verwijderen, zonder de oplosmiddelen te snel te laten verdampen. De hoge uniformiteit zorgt er ook voor dat er geen problemen optreden met de randen van het plakje. De schone omgeving zorgt er bovendien voor dat het aantal deeltjes op het oppervlak onder controle blijft. Hierdoor worden de resultaten van de lithografieconsistenter, zijn er minder herwerkingsbehoeften en kan men de cyclustijden beter plannen. Energieverbruik wordt beheerd door efficiënte lampbediening en slimme thermische beheersing, zodat de operationele kosten dalen zonder dat de productie wordt vertraagd. Het systeem is ontworpen voor 24/7 gebruik, met componenten die onverwachte stilstand tijdens het gebruik voorkomen.
Wat je moet planningen Voor de installatie is het belangrijk om de geometrie van de kamer en de luchtcirculatie in overweging te nemen. Wij leveren het montagekit en de kaart met de thermische specificaties, maar de alignering moet nog steeds worden gecontroleerd tijdens de inbedrijfstelling. Vanaf het moment dat de onderdelen in de kamer worden geplaatst, moet er rekening worden gehouden met de vereisten van een schone omgeving. De heater werkt binnen de vastgestelde parameters; buiten deze parameters daalt de precisie van het thermische beheer. Houd de productie draaiend door voldoende reserves aan te hebben voor de lampen en voor het controleren van het kwartsvenster.