클래스 100 클린룸을 항상 깨끗하게 유지하는 방법
클래스 100 환경에서 기판을 가열할 때는 오차의 여지가 전혀 없습니다. 아주 작은 먼지 한 알이나 유해한 휘발성 유기화합물이라도 발생하면, 전체 제품이 망가질 수 있습니다.
문제는 대부분의 일반적인 적외선 램프들이 다소 불순물을 포함하고 있다는 것입니다. 이러한 램프들은 가열되는 순간 미세한 불순물들을 방출하거나 유해한 VOCs를 배출합니다. 우리는 이 문제를 해결하기 위해 초고순도(UHP) 합성 석영을 사용했습니다.
합성 석영이 중요한 이유
우리는 천연 석영 대신 고순도의 합성 실리카를 사용했습니다. 천연 석영에는 미량의 금속 불순물들이 있어서, 열이 가해지면 그 불순물들이 표면으로 이동합니다. 이로 인해 램프에서 연기가 나는 것과 같은 현상이 발생하며, 이는 웨이퍼에 치명적입니다.
이를 방지하기 위해 우리의 UHP 램프들은 극도로 엄격한 화학적 처리 과정을 거쳐 모든 불순물을 제거합니다. 이렇게 하면 오염 없이 강력한 열을 얻을 수 있으며, 렌즈도 깨끗하게 유지됩니다.
비밀은 밀봉에 있습니다
대부분의 램프는 밀봉 부분에서 문제가 생깁니다. 많은 제조업체들이 유기 접착제나 저가의 접착제를 사용하지만, 이러한 재료들은 작동 온도에 도달하는 순간 즉시 가스를 방출합니다.
우리는 그렇게 하지 않습니다. 우리는 고온에서도 견딜 수 있는 유리-금속 밀봉 방식을 사용합니다. 이 방식을 통해 할로겐 가스가 램프 내부에 남아 있으며, 외부의 오염물질들이 들어오지 못합니다. 연결부의 크기를 조절하여 기존에 사용하는 랙에 맞출 수도 있지만, 진짜 비결은 내부의 화학 구조에 있습니다.
몇 가지 주의사항
UHP 석영은 화학적으로 안정적이지만, 표면의 기름에는 매우 민감합니다. 설치할 때 직접 손으로 램프를 만지면, 피부에서 나오는 소금과 기름들이 “열점”을 만들어냅니다. 이러한 열점들은 열應力을 유발하여 결국 램프가 깨질 수 있습니다. 이는 원치 않는 문제입니다. 반드시 모든 사람들이 먼지가 없는 장갑을 착용하고 이소프로필 알코올로 램프를 청소해야 합니다.
또한 냉각 시스템도 잘 확인해야 합니다. 이러한 램프들은 매우 높은 정밀도를 요구하기 때문에 에너지 흐름도 매우 강력합니다. 냉각 팬이나 물순환 시스템을 반드시 점검해야 합니다. 만약 램프의 외부가 과열된다면, 문제가 생길 수 있습니다.