ウェーハを加熱する際に、状況を冷静かつ安全に保つ方法
化学的な洗浄処理を行う際にウェーハを加熱するとき、まるで綱渡りをしているようなものです。仕事を遂行するためには十分な熱が必要ですが、力を入れすぎると発火のリスクが生じます。可燃性の溶剤の近くで一般的な赤外線ランプを使用するのは危険だけでなく、重大な問題を引き起こす可能性もあります。
私たちは、専用の封止処理と、安全距離を正確に計算することによってこれに対処します。目的は単純です。つまり、ランプの表面が、その蒸気が発火するような温度に達しないようにするのです。
シールド：封止処理
私たちは単に石英管をその場所に置いておくだけではありません。私たちのランプは、密閉された外装によって保護されています。これはまるでボディーガードのようなもので、有害で腐食性のあるガスが電気端子に触れないようにしてくれます。もしランプが壊れてしまった場合でも、この封止処理によって、内部のハロゲンガスが周囲の化学物質と反応するのを防ぎます。
また、高品質の石英には特別なコーティングが施されており、これによって放射スペクトルが変わり、熱がウェーハに効率的に伝わります。そうすることで、機械の筐体が過熱するのを防ぎます。
数学：安全距離
安全距離を決定するのは推測ではありません。それはランプのワット数と、使用する化学物質の発火点によって決まります。外部のシースが、洗浄剤の臨界温度以下になるように距離を調整する必要があります。通常、空気が流れるのに十分な最小距離を推奨します。
しかし、加熱速度を上げるためにランプをウェーハの近くに置きたくなる誘惑があります。しかし、それは避けるべきです。そうすると、筐体が過熱してしまいます。その場合は、ランプの後ろから熱を取り除くために、より大きな冷却ファンが必要になります。
トレードオフ
高出力の短波ランプは速いです。本当に速いのです。しかし、強烈な熱源を生み出します。爆発性のある環境で作業する際には、そのような強力なパワーは危険です。安全を守るために、私たちは少しの速度を犠牲にして、より大きなサイズの反射器や改良された構造を採用します。そうすることで、熱負荷を分散させることができます。確かに、処理時間は少し長くなりますが、クリーンルームが爆発するよりはずっと良いです。