なぜ、すべてのウェーハ用IRセンサーに対してストレステストを行うのか？ ウェーハの製造においては、わずかな電気的なアークが発生するだけで、一括りのシリコンが台無しになってしまいます。これは最悪の事態です。そのため、私たちは「抽出検査」を信じていません。私たちの工場から出荷されるすべてのランプやセン...

IRエミッター用のセラミックエンドキャップについて話しましょう。 スマートなファブを運営する際には、単に熱を上げるだけでは不十分です。重要なのは精度です。システムが作業途中で故障しないようにすることです。 そこで、私たちはIRエミッターにセラミックエンドキャップを使用しています。これにより、ランプ...

熱の無駄遣いをやめよう：なぜIR照明にはより良い反射板が必要なのか 正直に言って、半導体工場では、無駄になる熱というのは、単なるお金や二酸化炭素の無駄遣いに他なりません。もしIRランプから出る熱が機械の筐体内に漏れてしまっているなら、それは無駄な努力に過ぎません。 解決策は思ったよりも簡単です。ア...

なぜ、すべてのヒーターを厳しい耐久試験にかけるのか？ 私たちが壁掛け式のガレージ用ヒーターに使用するのは、短波赤外線ランプです。このランプは、必要な場所に即座に熱を届けることができます。しかし、湿気の多いガレージやバスルームでは、ランプが早期に故障してしまうと、そのような性能は無意味になってしまい...

ファブフロアでは、リソグラフィクラスターは止まることなく稼働し続ける。トラックはウェーハを供給し、レジストは回転し、エッジビードが除去され、ベークは厳密な熱ウィンドウ内で行わなければならない——すべての通過で。ソフトベークやハードベーク中に1℃のドリフトがあると、クリティカルディメンションが変動し...