なぜ、すべてのウェーハ用IRセンサーに対してストレステストを行うのか？ ウェーハの製造においては、わずかな電気的なアークが発生するだけで、一括りのシリコンが台無しになってしまいます。これは最悪の事態です。そのため、私たちは「抽出検査」を信じていません。私たちの工場から出荷されるすべてのランプやセンサーは、必ず耐圧試験や絶縁抵抗試験を受けます。例外はありません。
弱点の特定 具体的には、これらの部品を通常の動作電圧をはるかに超える電圧で動作させます。つまり、破壊しようとしているのです。 なぜでしょうか？それは、実際に機械の中で故障する前に、実験室で石英に微細な亀裂があったり、シール部分に微小な不純物があったりするのを見つけ出した方が良いからです。もし絶縁が破れたり、漏れ電流が増加したりしたら、その部品は使い物になりません。そういう部品は廃棄されます。
なぜ「サンプル検査」をしないのか なぜ、各バッチから数個だけをテストしないのかと尋ねる人もいます。しかし、半導体業界では、1％の故障率でも大きな問題になります。 私たちは、加熱素子と外殻との間の抵抗値にも細心の注意を払います。電流が漏れ出す可能性がないことを確認する必要があります。接地不良は、機械を停止させるだけでなく、放電によってウェーハ表面を汚染してしまう可能性もあります。それは、誰もが対処したくない事態です。
課題 このように厳格なテストを行うには時間がかかります。それによって生産サイクルが遅くなりますが、短絡しない部品を提供するためには、これが唯一の方法です。 しかし、こうしたセンサーが私たちの手を離れると、それはあなたの手に渡ります。これらは精密な道具です。もし技術者がセンサーを落としたり、取り付け時に外殻に傷をつけたりしたら、その密封性は失われてしまいます。私たちがテストした通りに機能させるためには、取り付けの仕様を厳守する必要があります。 最終的には、私たちは単純な数値、つまり耐圧、漏れ電流、オーム抵抗を確認します。それは豪華なものではありませんが、お客様の装置が予期せぬ停止を起こさずに正常に動作し続けるための方法です。