बिल्कुल साफ रखना: शून्य-संदूषण वाली ऊष्मा प्रणाली
कल्पना कीजिए, ऐसा क्लीनरूम जहाँ एक भी धूल कण भी स्वीकार्य न हो। अर्धचालक निर्माण में यही स्थिति है।
इसलिए, ऐसे वातावरण में ऊष्मा प्रदान करने हेतु, हीटर ही समस्या का कारण नहीं बन सकता। यही कारण है कि हमने अपने क्वार्ट्ज इन्फ्रारेड लैंपों को पूरी तरह से सीलबंद, निष्क्रिय प्रणाली के रूप में विकसित किया। ये लैंप बिना किसी कण या गैस उत्सर्जन के तेज़ एवं केंद्रित ऊष्मा प्रदान करते हैं।
वास्तविक मशीनों के लिए उपयुक्त – शक्ति एवं आकार
हमने इन लैंपों को छोटे स्थानों में भी उपयोग हेतु डिज़ाइन किया है; ये आपकी मौजूदा मशीनों के साथ भी काम कर सकते हैं। एक सामान्य लैंप 400V एवं 2500W क्षमता में काम करता है, एवं यह 300 मिमी आकार के ट्यूब में ही होता है।
इससे छोटे स्थान में ही भरपूर ऊष्मा प्राप्त होती है; इसलिए जब प्रक्रिया में तेज़ तापमान की आवश्यकता होती है, तो तापमान तुरंत ही बढ़ जाता है। 400V की क्षमता कोई संयोग नहीं है – इसका मतलब है कि लैंप को सीधे मानक औद्योगिक विद्युत स्रोत से ही जोड़ा जा सकता है; इसलिए मशीन में बड़े ट्रांसफॉर्मरों की आवश्यकता ही नहीं है।
क्लीनरूम-ग्रेड सामग्री
लैंप का कोर उच्च-शुद्धता वाला क्वार्ट्ज है। धातुओं के विपरीत, क्वार्ट्ज चरम ऊष्मा में भी रासायनिक रूप से निष्क्रिय रहता है; इसलिए यह ऑक्सीकृत नहीं होता, एवं कोई कण भी नहीं उत्पन्न होता।
इसके अंदर, शॉर्टवेव इन्फ्रारेड फिलामेंट तेज़ एवं केंद्रित ऊष्मा प्रदान करता है। हमने पूरे लैंप को विशेष R7s कनेक्टर से सील कर दिया है; इससे लैंप स्थिर रहता है, एवं क्वार्ट्ज में दरारें नहीं पड़तीं।
अर्धचालक निर्माण हेतु आदर्श समाधान
अर्धचालक निर्माण हेतु, ऐसी प्रणाली आवश्यक है जो तापमान पर पूरा नियंत्रण रख सके। क्वार्ट्ज सामग्री तापीय झटकों को भी सहन कर सकती है; इसलिये यह तेज़ ऑन/ऑफ साइकिलिंग को भी संभाल सकती है।
चूँकि इन्फ्रारेड किरणें सीधे लक्ष्य वस्तु को ही गर्म करती हैं – आसपास की हवा को नहीं – इसलिए हवा की गति कम रहती है; इससे कण उड़ने की संभावना ही नहीं रहती।
ऐसी उच्च ऊर्जा घनत्व वाली प्रणाली के कारण, 300 मिमी के आकार में ही भरपूर ऊष्मा प्राप्त होती है। इसलिए मशीन की शीतलन एवं तापीय प्रबंधन प्रणाली भी उच्च स्तर की होनी आवश्यक है। इसी तरह हम ऊष्मा को ठीक उसी जगह रख पाते हैं, जहाँ आवश्यक है… एवं संदूषकों को वहाँ पहुँचने ही नहीं देते।