अपनी दीवारों को गर्म न करें
अधिकांश हीटिंग उपकरण बहुत ही जटिल होते हैं। ये ऊष्मा को हर दिशा में फैला देते हैं – 360 डिग्री में। सेमीकंडक्टर निर्माण संयंत्रों में यह एक बड़ी समस्या है।
जब ऊष्मा को किसी विशेष दिशा में नहीं भेजा जाता, तो बहुत सारी ऊर्जा वेफर तक नहीं पहुँच पाती, और सीधे ही उपकरणों की आंतरिक दीवारों पर गिर जाती है। इससे दीवारें बहुत गर्म हो जाती हैं… जिससे बिजली की बर्बादी होती है, एवं रखरखाव करने वाले लोगों को खतरा भी पैदा होता है।
हम इस समस्या को कैसे हल करते हैं?
हम दिशात्मक इन्फ्रारेड लैंपों का उपयोग करते हैं। साधारण क्वार्ट्ज ट्यूबों के बजाय, हम परावर्तकों एवं विशेष कोटिंगों का उपयोग करते हैं, ताकि ऊष्मा सीधे ही वांछित स्थान पर जाए।
इससे इन्फ्रारेड ऊर्जा सीधे ही लक्ष्य पर ही केंद्रित हो जाती है। ऐसे में उपकरणों की आंतरिक दीवारें ठंडी ही रहती हैं… जिससे उन्हें छूने में कोई खतरा नहीं होता।
वास्तविक दुष्प्रभाव
ऐसे लैंपों को संयंत्रों में लगाना तो आसान है… लेकिन बस उन्हें जोड़कर भूल जाना उचित नहीं है। आपको उचित बिजली आपूर्ति व्यवस्था भी आवश्यक है। उच्च-वाटेज वाले इन्फ्रारेड लैंपों को बहुत अधिक बिजली की आवश्यकता होती है… इसलिए आपके विद्युत पैनलों को हर पाँच मिनट में बंद न होने देना आवश्यक है।
और यहीं पर समस्या है… क्योंकि ऊष्मा को एक ही बिंदु पर केंद्रित किया जाता है, इसलिए वेफर पर बहुत अधिक दबाव पड़ता है।
आपको अपने PID कंट्रोलरों को ठीक से कैलिब्रेट करना होगा… ताकि तापमान लक्ष्य से अधिक न हो जाए। साथ ही, लैंपों के लिए ठंडक प्रदान करने वाले फैनों का उपयोग भी आवश्यक है… अन्यथा लैंप अपनी ही ऊष्मा के कारण जल जाएगा।
यह क्यों महत्वपूर्ण है?
जब आंतरिक गर्म बिंदुओं को दूर कर दिया जाता है, तो सब कुछ तेजी से होने लगता है। आपको चैंबर के ठंडा होने का इंतजार नहीं करना पड़ता… ऑपरेटर आसानी से अंदर जाकर काम पूरा कर सकते हैं। इससे समय बचता है, लोगों की सुरक्षा सुनिश्चित होती है… एवं ऐसी दीवारों को गर्म करने पर होने वाला खर्च भी बच जाता है।