फैब फ्लोर पर, फोटोरेजिस्ट को गर्म करना कोई साधारण प्रक्रिया नहीं है… यह तो एक ऐसी प्रक्रिया है जिसमें तापमान को बहुत ही सटीक रूप से नियंत्रित किया जाता है। यदि “सॉफ्ट बेक” या “हार्ड बेक” के दौरान तापमान में 2°C का भी अंतर आ जाए, तो इससे उत्पादन प्रक्रिया पर गंभीर प्रभाव पड़ सकता है। हमने ऐसी ही स्थितियों को नियंत्रित करने हेतु क्वार्ट्ज बोट हीटिंग लैंप बनाए हैं।
क्या महत्वपूर्ण है?
लैंप का शरीर क्वार्ट्ज से बना होता है… यह उच्च शुद्धता वाला होता है, एवं इससे कम गैस निकलती है… ऐसी ही विशेषताएँ तब आवश्यक होती हैं, जब तेज़ तापमान पर उत्पादन प्रक्रिया की जाती है। शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड तत्वों के कारण तेज़ प्रतिक्रिया होती है, एवं क्वार्ट्ज बोट का तापमान निर्धारित स्तर पर ही रहता है… बोट के अंदर का तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहता है… इससे उत्पादन प्रक्रिया में निरंतरता बनी रहती है।
फोटोरेजिस्ट प्रसंस्करण में इसका क्या महत्व है?
ऐसी स्थिरता के कारण ही “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” दोनों ही प्रक्रियाओं में फोटोरेजिस्ट की चिपचिपाहट एवं घोल का निष्कासन सही तरीके से हो पाता है… क्लीनरूम क्लास 1–100 में, ऐसी व्यवस्था से गैसों का उत्सर्जन कम हो जाता है, एवं सफाई भी आसान हो जाती है।
उत्पादन में इसका क्या लाभ है?
लिथोग्राफी प्रक्रिया में तापमान को बहुत ही सटीक रूप से नियंत्रित करना आवश्यक है… ऐसी लैंपें उत्पादन प्रक्रिया को स्थिर रखती हैं… इससे दोबारा काम करने की आवश्यकता कम हो जाती है… तेज़ तापमान वृद्धि के कारण उत्पादन समय कम हो जाता है… एवं निर्धारित स्तर पर ही तापमान रहने से उत्पादों की गुणवत्ता में सुधार होता है।
क्या ध्यान में रखना आवश्यक है?
लैंप को सही जगह पर ही लगाना आवश्यक है… इसके अलावा, विद्युत संबंधी व्यवस्थाओं को भी ठीक रखना आवश्यक है… ताकि लैंप की देखभाल सुरक्षित रूप से की जा सके… जब क्वार्ट्ज बोट का तापमान लैंप के तापमान से मेल खाता है, तभी ही लैंप सही तरीके से काम करता है… अन्यथा तापमान में असंतुलन हो जाता है…
टूल बदलने के बाद क्या करना आवश्यक है?
टूल बदलने के बाद, लैंप को थोड़ी देर के लिए गर्म करना आवश्यक है… ऐसा करने से ही तापमान संतुलन बना रहता है… इससे ही फोटोरेजिस्ट प्रसंस्करण प्रक्रिया में निरंतरता बनी रहती है।