फ़ैब फ्लोर पर, फोटोरेसिस्ट बेक केवल एक और चरण नहीं है। यह दरवाज़ा है। एक तापमान उतार-चढ़ाव, एक कण घटना, और आप बहुत से वेफ़र्स खो सकते हैं। हमने फ़ैब लैम्प्स के लिए एक क्वार्ट्ज ग्लास शील्ड बनाया है ताकि वह दरवाज़ा बंद रहे, शिफ्ट दर शिफ्ट।
क्या महत्वपूर्ण है
यह उच्च-शुद्धता वाला फ्यूज्ड क्वार्ट्ज है, जिसे शॉर्ट-वेव और मीडियम-वेव IR में स्थिर ट्रांसमिशन के लिए चुना गया है, और क्लीनरूम हवा में कम आउटगैसिंग के कारण शांत बने रहने के लिए। यह शील्ड लैम्प आउटपुट को स्थिर रखता है जबकि फिलामेंट और ऑप्टिक्स को कोटिंग ड्रिफ्ट और कणों से बचाता है। वेफ़र के पूरे क्षेत्र में तापीय समानता सख्त बनी रहती है, जिससे आपके सॉफ्ट बेक और हार्ड बेक विंडो स्थिर रहते हैं, प्रोफ़ाइल नियंत्रण दोहराने योग्य होता है। यह Class 1–100 वातावरण में चलता है बिना कणों की संख्या बढ़ाए, और डिजाइन तेज़ तापीय साइकलिंग को माइक्रो क्रैकिंग के बिना सहन करता है।
7×24 लिथोग्राफी सेल में इसका महत्व
अनियोजित लैम्प स्टॉप्स अनुसूची की भविष्यवाणी और उस स्क्रैप यील्ड को प्रभावित करते हैं जिसके लिए आपने मेहनत की है। यह शील्ड प्रमुख विफलता कारणों में से एक को खत्म करता है। परिणामस्वरूप: कोई अनियोजित डाउनटाइम नहीं, लैम्प की आयु बढ़ती है, और बेक तापमान की पुनरावृत्ति निर्दिष्ट सीमा में बनी रहती है, रन दर रन। कम लैम्प स्वैप्स। स्थिर क्रिटिकल डाइमेंशन्स। और प्रति वेफ़र कम लागत। साथ ही, आप ऊर्जा भी बचाते हैं क्योंकि शील्ड कूप्लिंग एफिशिएंसी बनाए रखता है और तापीय नुकसान कम करता है।
विवरण जो इसे विश्वसनीय बनाते हैं
इंस्टॉलेशन को लैम्प और रिफ्लेक्टर ज्यामिति के साथ बिल्कुल मेल खाना चाहिए। कुछ मिलीमीटर भी ऑफ़ रहने से हॉट स्पॉट्स बन सकते हैं और समानता खराब हो सकती है। रेट्रोफिट से पहले, कनेक्टर प्रकार, लैम्प एनवलप आयाम और कूलिंग एयरफ्लो की जांच करें। क्वार्ट्ज सतह के साथ सावधानी से व्यवहार करें—सिर्फ क्लीनरूम-स्वीकृत उपकरण और सॉल्वेंट से पोंछें। खरोंच प्रकाश को बिखेरते हैं और समानता को तेज़ी से प्रभावित करते हैं। जब इसे सही लैम्प और प्रक्रिया के साथ जोड़ा जाता है, तो शील्ड निरंतर चलता है बिना निर्धारित प्रतिस्थापन के, केवल नियमित सफाई जांचों के साथ।