वेफरों को गर्म करते समय चीजों को ठंडा (एवं सुरक्षित) रखना आवश्यक है।
जब आप रासायनिक सफाई क्षेत्र में वेफरों को गर्म कर रहे होते हैं, तो आप वास्तव में एक जोखिमपूर्ण स्थिति में होते हैं। काम पूरा करने हेतु पर्याप्त ऊष्मा आवश्यक है, लेकिन यदि आप अत्यधिक ऊष्मा उत्पन्न करेंगे, तो वेफरों में आग लगने का खतरा हो जाएगा। ज्वलनशील पदार्थों के आसपास इन्फ्रारेड लैंप का उपयोग करना न केवल जोखिमपूर्ण है, बल्कि यह एक गंभीर समस्या भी है।
हम इस समस्या का समाधान दो चीजों के माध्यम से करते हैं – विशेष प्रकार की सुरक्षात्मक आवरण प्रणाली, एवं सुरक्षित दूरी संबंधी गणनाएँ। उद्देश्य बहुत ही सरल है – यह सुनिश्चित करना कि लैंप की सतह का तापमान ऐसा न रहे कि वह वेफरों में आग लगने का कारण बने।
सुरक्षात्मक आवरण
हम केवल क्वार्ट्ज ट्यूब को वहाँ रखकर ही काम नहीं करते। हमारे लैंपों को एक विशेष सुरक्षात्मक आवरण में रखा जाता है। इसका कार्य वे विषाक्त धुएँ को विद्युत टर्मिनलों से दूर रखना है। और यदि लैंप टूट जाए, तो यह सुरक्षात्मक आवरण आंतरिक हैलोजन गैस को वहाँ मौजूद रासायनिक पदार्थों से बचाता है।
हम उच्च गुणवत्ता वाले क्वार्ट्ज पर विशेष प्रकार की परत भी लगाते हैं; इससे ऊष्मा वेफरों तक ही पहुँचती है, न कि मशीन के अन्य हिस्सों तक।
सुरक्षित दूरी
सुरक्षित दूरी निर्धारित करना कोई अनुमान नहीं है। यह लैंप की वॉटेज एवं रासायनिक पदार्थों के ज्वलन बिंदु पर निर्भर है। आपको ऐसी दूरी निर्धारित करनी होगी कि लैंप का बाहरी हिस्सा रासायनिक पदार्थों के ज्वलन बिंदु से काफी नीचे रहे। हम आमतौर पर ऐसी न्यूनतम दूरी ही सुझाते हैं, जिससे हवा आसानी से बह सके।
लेकिन ध्यान रखें – लैंप को वेफरों के और नजदीक रखने से काम तो तेज हो जाएगा, लेकिन इससे मशीन का हीटिंग सिस्टम खराब हो जाएगा। ऐसी स्थिति में लैंप से ऊष्मा हटाने हेतु बड़े आकार के कूलिंग फैनों की आवश्यकता होगी।
समझौता
उच्च वॉटेज वाले लैंप तो तेज़ गति से काम करते हैं… लेकिन वे तीव्र ऊष्मा भी उत्पन्न करते हैं। विस्फोटक क्षेत्रों में काम करते समय इतनी ऊष्मा खतरनाक हो सकती है। सुरक्षा हेतु, हम थोड़ी गति का बलिदान करके बड़े आकार के रिफ्लेक्टरों का उपयोग करते हैं। इससे ऊष्मा वितरित हो जाती है… निश्चित रूप से, काम करने में थोड़ा समय लगेगा, लेकिन यह अपने क्लीनरूम को नष्ट करने से बेहतर है।