בשלב לאחר ה-CMP, הרחצה שנעשית לאחר מכן יוצרת טיפות זעירות, שעלולות להפוך לפגמים אם פרופיל הייבוש משתנה. שינוי של מעט יותר ממעלה אחת בטמפרטורה עלול לגרום לשינוי בהתנהגות החומר הפוטורזיסטי במהלך הייבוש. בנוסף, יצירת חלקיקים במהלך החימום עלולה לפגוע באיכות המוצר. יש צורך בחום שנשאר בגבולות המותרים, ושהסביבה תהיה נקייה.
מה חשוב בפועל? יצרנו את החיממן הזה עבור הדרישות הקפדניות של שלב לאחר ה-CMP. נורות ההלוגן מספקות תגובה מהירה ויציבה, והחלון העשוי קוורץ מבודד את החדר מגוף הנורה, כך שמספר החלקיקים נשאר נמוך. האחידות של הטמפרטורה על פני הוואפר נשמרת בטווח של ±0.1°C, והשגרתיות של התהליך טובה יותר – בטווח של ±0.2°C. נקודות הטמפרטורה נשלטות בצורה קפדנית, כך שהממדים והפרופילים של הוואפר נשארים קבועים. המערכת מתאימה לחדרים נקיים מסוג Class 1–100, וכל בחירת החומרים נעשית כדי למזער את פליטת הגזים ואת החלקיקים. ההספק של המערכת מותאם לפלטפורמה, והאינטרפייס שלה מאפשר התקנה ישירה במקומות הקיימים.
למה המערכת עובדת טוב בפועל? בשלב לאחר ה-CMP, החיממן צריך להסיר את הלחות הנשארת על הוואפר, מבלי לגרום להתאדות מהירה של החומרים. האחידות הגבוהה של הטמפרטורה מונעת את היווצרותם של פגמים על פני הוואפר, והסביבה הנקייה מונעת את עליית מספר החלקיקים על פני השטח. התוצאה היא תוצאות ליתוגרפיה עקביות יותר, פחות צורך בתיקונים, וזמני עבודה צפויים. צריכת האנרגיה נשלטת על ידי פעולה יעילה של הנורות וניהול תרמי חכם, כך שעלויות התפעול יורדות מבלי להאט את קצב העבודה. המערכת מיועדת לפעולה 24/7, והרכיבים שלה נבחרו כדי למזער את זמני הכשל הבלתי צפויים.
מה צריך לתכנן? ההתקנה כוללת התאמה של גאומטרית החדר ושל זרימת האוויר. אנו מספקים את ערכת ההתקנה ואת מפת הפרופיל התרמי, אך עדיין יש צורך לבדוק את ההתאמה בזמן ההפעלה. יש לטפל בהתקנה בזהירות, כמו בחדרים נקיים, ולשלוט ברמת החשמל הסטטי. החיממן עובד בטווח הטמפרטורות המותרים; חריגה מטווח זה עלולה לפגוע בשליטה התרמית. יש לתכנן את החלפת הרכיבים בהתאם לזמן החיים של הנורות ולתדירות הבדיקות של החלון.