על משטח הייצור הקרמי, תהליך אפיית הפוטורזיסט אינו מקום להקלות. שינוי של 1°C במהלך האפייה עלול לגרום לשינוי בממדים הקריטיים של הווחה, ולפגוע באיכות החיתוך של הווחה. כאשר הווחה חווה אי-אחידות תרמית, יש לשלם את המחיר – אובדן בתפוקה, צורך בעבודה חוזרת, ובסופו של דבר, זריקת כל הווחות הלא תקינות. פיתחנו מערכת חימום לדיודות לייזר של חצאי מוליכים, כך שהטמפרטורה של הווחה תישמר בטווח של ±0.1°C – זו הטווח האפשרי שהתהליך שלכם מאפשר.
מה חשוב בתהליך האפייה אנו משתמשים במקורות לייזר NIR עם בקרה במעגל סגור, כך שהחום מופנה בצורה מהירה וממוקדת, ולא נוצרים נקודות חם על הווחה. התוצאה היא אחידות של ±0.1°C באזור האפייה, ושחזוריות של ±0.05°C בין לוטים שונים. המערכת מותאמת לשימוש בחדרי ניקיון מסוג Class 1 עד Class 100, כאשר החומרים והשכבות העל פני השטח נבחרו כך שלא ייווצרו חלקיקים במהלך האפייה והקירור. אספקת האנרגיה נשארת יציבה כל הזמן – יש לנו מערכות שפועלות יותר מ-5,000 שעות עם ירידה של פחות מ-5% בביצועים.
למה זה חשוב בתהליך עיבוד הפוטורזיסט הדיוק בטמפרטורה הוא גורם מכריע בתהליכי הסרת חומרים, יצירת קשרים בין המולקולות, ובסופו של דבר, בעמידות של הווחה לתהליכי חיתוך. באמצעות מערכת החימום של דיודות הלייזר, ניתן לשלוט בטמפרטורה בכל שלב של האפייה, כך שהשינויים בממדים הקריטיים של הווחה יהיו מינימליים. כמו כן, ניתן לקצר את זמן האפייה בזכות התגובה התרמית המהירה, ולחסוך באנרגיה. כל זה מאפשר שמירה על הבקרה הקפדנית על התהליך.
מה צריך לתכנן ההתקנה כוללת התאמת מסלול האור ווידוא שהמערכת מתאימה לתנאי האוורור והקירור. המערכת תפעל בצורה הטובה ביותר כאשר תנאי הצד האחורי של הווחה יהיו אחידים – שכבות, שאריות או עיוותים עלולים לפגוע באיכות האפייה. יש לתכנן ניסויים קצרים כדי לוודא שהטמפרטורות תואמות את הווחות הספציפיות שלכם, ולהתאים את מעגל הבקרה לקצב הייצור שלכם.