בקווי הייצור של סוללות מסוג סוליד-סטייט, השינויים התרמיים במהלך תהליך העיבוד של הסוללות אינם רק עלייה/ירידה בגרף. הם גורמים לבזבוז של וופרים, פוגעים ביכולות התרמיות של המערכת, והופכים את תכנון התהליכים לקשה מאוד. זמני העיבוד של הפוטורזיסט הם קצרים מאוד, ויש צורך בדיוק גבוה בטמפרטורה בנקודות החיבור של השכבות השונות. אם החימום אינו מסוגל לשמור על טמפרטורה אחידה בכל אזור העיבוד, התוצאות יהיו לא יציבות.
מה חשוב מבחינה טכנית? יצרנו את מערכת החימום הזו על בסיס מקורות אינפרא-אדום באורך גל קצר, במודול תרמי שמשתמש בקוורץ. התוצאה היא דיוק של ±0.1°C באזור העיבוד, עם יציבות של ±0.2°C בזמן העיבוד. שליטה בקצב החימום היא 1°C/שנייה, כך שהפרופיל של החימום תואם את ההוראות הנדרשות, ולא את הנקודות החמות במערכת.
המערכת מתאימה לחדרי ייצור מסוג Class 1–100, והיא פועלת בצורה יעילה, ללא ייצור של חלקיקים – רמת החלקיקים היא ≤1 חלקיק/פיטר רבוע ברמת 0.1 מיקרומטר. פעולה 24 שעות ברצף אפשרית בזכות שליטה דו-מעגלית, וזמן העבודה של המערכת עולה על 50,000 שעות. כאשר יש צורך בתחזוקה, הנורות והמנועים של המערכת ניתנים להחלפה בקלות, כך שאין צורך בזמן עצירה בלתי צפוי.
למה זה עובד כאן? בקווי ליתוגרפיה, אותה מערכת משמשת לחימום הפוטורזיסט, כך שאין צורך במערכת נוספת. זה מאפשר תהליכי העברה מהירים יותר, ומונע בעיות בפרופיל החימום. במקרה של סוללות מסוג סוליד-סטייט, המערכת מסייעת בהתכה של שכבות החיבור וביצירת שכבות דקות, ללא נקודות חמות או קרות. זה שומר על עמידות ההתנגדות החשמלית ומוריד את סיכון ההפרדה של השכבות.
שימוש באנרגיה פוחת, מכיוון שהאור האינפרא-אדום חודר ישירות למטרה, ולא לקירות החדר. פחות חומרים שמסולקים ופחות צורך בכיול מחדש, מביאים לתוצאות יציבות משעה לשעה.
דברים שצריך לדעת: המערכת מתחברת למערכות הקיימות באמצעות RS-485 ו-SECS/GEM. זמן ההתחממות של המערכת הוא כ-3–5 דקות. יש לתכנן את זמן ההתחממות כחלק מתהליך ההכנה של הקווים. המערכת מספקת ביצועים טובים מבחינת EMC, כך שיש לוודא שהכבלים בעלי זרם גבוה מוגנים. כך ניתן למנוע רעשים שעלולים להפריע למכשירים האחרים.