Při procesu oplachování po CMP zůstávají na povrchu čipu mikrokapénky, které se mohou stát zdrojem defektů, pokud dojde ke změnám v profilu sušení. I malá změna teploty může ovlivnit chování fotorezistu během dalšího procesu sušení. Přidáním částic během zahřívání se snižuje kvalita výstupního produktu. Je potřeba, aby teplota zůstala v určeném rozmezí a aby prostředí zůstalo čisté.
Co je důležité uvnitř systému
Tento ohřívač jsme navrhli tak, aby splňoval nároky úzkého rozsahu teplot po CMP. Halogenové lampy poskytují rychlou a stabilní reakci, zatímco křemíkové okno izoluje komoru od těla lampy – díky tomu zůstává počet částic na nízké úrovni. Rozložení teploty po celém povrchu čipu je udržováno na úrovni ±0,1 °C, přičemž opakovatelnost mezi jednotlivými cykly je lepší než ±0,2 °C. Hodnoty teploty jsou řízeny s velkou přesností, takže kritické rozměry a parametry zůstávají stabilní. Systém je určen pro použití v čistých prostorách třídy 1–100. Každý materiál je vybrán tak, aby se minimalizovalo uvolňování plynů a ostatních částic. Výkon ohřívače je přizpůsoben konkrétní platformě a rozhraní umožňuje snadné začlenění do stávajících zařízení.
Proč funguje v praxi
Při sušení po CMP musí ohřívač odstranit zbytkovou vlhkost z povrchu čipu, aniž by příliš rychle odpařoval rozpouštědla. Díky této vysoké uniformitě teploty se zabrání vzniku problémů na okrajích povrchu čipu, zatímco čisté prostředí zajišťuje kontrolu počtu částic na povrchu. Výsledkem je konzistentnější výsledky litografie, méně oprav a možnost plánování časových intervalů. Spotřeba energie je regulována efektivním provozem lamp a inteligentním řízením teploty – díky tomu se snižují provozní náklady bez snížení rychlosti práce. Spolehlivost systému je zaručena pro nepřetržitý provoz 24/7, přičemž komponenty jsou vybrány tak, aby se minimalizovaly neplánované přerušení provozu.
Na co je potřeba se zaměřit
Instalace spočívá v přizpůsobení geometrie komory a toku vzduchu. Poskytujeme montážní sada a mapu teplotního profilu, ale alignment musí být ještě ověřen během zkoušek. S instalací je potřeba zacházet s patřičnou opatrností, od okamžiku, kdy součásti dorazí na pracoviště. Ohřívač dosahuje svých specifikací v určeném rozsahu teploty; mimo tento rozsah se snižuje možnost kontroly teploty. Aby proces fungoval správně, je potřeba plánovat náhradní díly v závislosti na životnosti lamp a intervalech kontroly okna.