V prostředí výroby pevných baterií není termální odchylka během zpracování jednotek baterií jen křivkou na grafu. Způsobuje plýtvání wafery, omezuje možnosti využití teplotního rozsahu a ztěžuje plánování výroby. Časové intervaly potřebné k zpracování fotorezistu jsou velmi krátké, a rozhraní mezi vrstvami a elektrolytem vyžadují extrémně přesnou kontrolu teploty. Pokud ohřívač nedokáže udržet konstantní teplotu po celé ploše substrátu, výsledná kvalita baterie je nejistá.
Co je z hlediska techniky důležité
Tento ohřívač pro zpracování pevných baterií je postaven na zdrojích krátkovlnného infračerveného záření typu NIR v termickém modulem s kvartem. Výsledkem je konstantní teplota na úrovni wafery v rozsahu ±0,1 °C v celé aktivní oblasti, přičemž stabilita teploty při udržovacím režimu je ±0,2 °C. Rychlost zvyšování teploty dosahuje 1 °C/s s minimálními odchylkami, takže profil ohřevu odpovídá požadovaným parametrům, nikoliv lokálním teplotním výkyvům.
Ohřívač se hodí do čistých místností třídy 1–100 a funguje bez problémů – při stabilním provozu je množství částic ≤1 částice/ft³ při velikosti částic 0,1 µm. Dvacetikilometrový provoz je zajištěn dvojitým řízením a průměrná doba použití přesahuje 50 000 hodin. Pokud je potřeba něco opravit, modulární lampy a vyměnitelné řadiče minimalizují dobu výpadku.
Proč to tady funguje
V lithografických linkách slouží stejný zařízení k zpracování fotorezistu s tou samou přesností, takže není potřeba druhé zařízení. Přechod mezi různými procesy probíhá rychleji a nemusíte se starat o nesoulad v parametrech ohřevu. U pevných baterií tento ohřívač zaručuje správné zpracování rozhraní mezi vrstvami a spojení tenkých filmů bez vzniku „horkých“ nebo „studených“ oblastí. To zajišťuje stabilní sériový odpor a snižuje riziko oddělení vrstev.
Spotřeba energie klesá, protože NIR záření působí přímo na cílovou oblast, nikoliv na stěny komory. Méně zahozených výrobků a méně kalibrací znamenají stabilní výkon i během dlouhých pracovních dob.
Co je potřeba vědět
Ohřívač se připojuje pomocí protokolů RS-485 a SECS/GEM a jeho rozměry odpovídají běžným platformám. Od chladného startu dosáhne termické stability za přibližně 3–5 minut. Vezměte to v úvahu při plánování provozu linky.
EMC hodnoty jsou nízké, proto je potřeba zajistit správné uspořádání vysokoproudých kabelů a jejich izolaci. Tím se zabrání vniknutí šumu do sousedních zařízení.