Wafer Kurutma Sürecinde Lamba Arızalarıyla Başa Çıkma
Yüksek yükte wafer kurutma işlemi yapıldığında, lambanın arızalanması sadece bir sorun veya küçük bir aksaklık değildir; bu bir kabus gibidir. Eğer kuvars tüpü patlarsa, cam parçaları ve halojen birikintileri silikon üzerine düşer. Böylece tüm üretim lotu mahvolur. Bu durum gerçekten berbat bir durumdur.
İşte bu yüzden özel bir güvenlik yansıtıcı sistemi kullanıyoruz. Bu sistem, aslında waferleriniz için bir tür sigorta görevidir.
Yansıtıcının Nasıl Çalıştığı
Bu yansıtıcılar iki işlev üstlenir: IR enerjisini gereken yere yönlendirir ve aynı zamanda fiziksel bir koruma sağlar. Yüksek saflıkta alüminyum kullanıyoruz; genellikle altın kaplama yapılmış veya ayna gibi pürüzsüz hale getirilmiş alüminyum kullanılır. Böylece ısı kaybı olmaz. Buradaki önemli faktör şekildir; ısı doğrudan wafer yüzeyine odaklanırken, lamba tüpü korunmuş olur.
Eğer tüp patlarsa, yansıtıcı enkazın büyük bir kısmını engeller. Böylece bu parçaların üretim hattına zarar vermesi engellenmiş olur.
24/7 Üretimde Dengeyi Koruma
24/7 üretim yapıldığında, sadece gücü artırıp en iyisini ummak yeterli değildir. “Isı birikimi” kontrol edilmelidir; aksi takdirde tüpler çok çabuk yanar. Tüpün etrafında hava akışının sağlanabilmesi için özel yapılar kullanıyoruz. Buradaki denge şudur: Eğer yansıma açısını artırırsanız, waferler daha hızlı kurur. Ancak bu durumda tüp daha fazla ısınır. Eğer gücü artırırken tahliye sistemlerini güçlendirmezseniz, lambanın ömrü kısalır. Bu oldukça hassas bir dengedir.
Her Şeyin Düzgün Çalışmasını Sağlama
Kimse, sadece bir ampul değiştirmek için saatlerce uğraşmak istemez. Bu yüzden bu tür kolayca değiştirilebilir parçalar kullanıyoruz. Lambayı değiştirip tekrar işe devam edebilirsiniz. Bu sayede alan küçülür ve gece vakti bakım sırasında hataların olma ihtimali azalır. Bir ipucu: Her altı ayda bir yansıtıcı yüzeyinin oksitlenip oksitlenmediğini kontrol edin. Eğer yüzey parlaklığını kaybederse, ısı üretimi azalır. Bu durumda lambaların aynı kalitede kurutma yapabilmek için daha fazla çalışması gerekir; bu da onların ömrünü kısaltır. Yüzeyleri parlak tutursanız, lambalar düzgün çalışmaya devam eder.