Sınıf 100 temiz odalarını gerçekten temiz tutmak
Sınıf 100 ortamında bir yüzeyi ısıtırken hata payı hiç yoktur. Bir miktar toz parçası veya gaz salınımı bile tüm ürünlerin bozulmasına neden olabilir.
Sorun şu ki, çoğu standart kızılötesi lamba oldukça kirli olabiliyor. Isındıkları anda mikroskobik parçacıklar yayabiliyor veya zararlı uçucu organik bileşikler salabiliyorlar. Bunu aşmak için ultra yüksek saflıkta sentetik kuvars kullanmaya karar verdik.
Sentetik kuvarsin önemi
Doğal kuvars yerine yüksek saflıkta sentetik silika kullandık. Doğal kuvarste, sıcaklık arttığında yüzeye geçmeyi seven metalik safsızlıklar bulunur. Bu durum, lambanın “duman çıkarması” anlamına gelir ve bu da waferler için büyük bir sorundur.
Bunu engellemek için UHP tüpleri, her türlü safsızlıktan arındırılmak üzere yoğun kimyasal işlemlerden geçirilir. Bunları sisteminize bağladığınızda, kirlilik olmadan güçlü bir ısı elde edersiniz. Lensleriniz berrak kalır ve waferleriniz de kusursuz kalır.
Sırrı mühürdedir
Çoğu lamba, mühür kısmında başarısız olur. Birçok üretici organik yapıştırıcılar veya ucuz yapıştırıcılar kullanır; ancak bunlar çalışma sıcaklığına ulaştığı anda gaz salarlar. Biz böyle yapmıyoruz. Yerine yüksek sıcaklıkta cam-metal mühürler kullanıyoruz. Bu sayede halojen gazı tüpün içinde kalır ve dış dünya ile temas kuramaz. Bağlantı noktalarını mevcut rafa uyacak şekilde ayarlayabiliriz; ancak asıl sihir, içindeki kimyasal yapıdadır.
Birkaç uyarı
UHP kuvars kimyasal olarak inert olsa da, yüzeydeki yağlara karşı son derece hassastır. Eğer ekibiniz montaj sırasında tüpe çıplak ellerle dokunursa, ciltlerinden kaynaklanan tuzlar ve yağlar “sıcak noktalar” oluşturur. Bu noktalar termal stres yaratır ve sonunda tüp kırılır. Bu da istenmeyen bir durumdur. Herkesin pamuksuz eldiven kullanmasını ve izopropil alkol ile temizlik yapmasını sağlayın. Ayrıca soğutma sistemine de dikkat edin. Çünkü bu lambalar çok yüksek hassasiyet için tasarlandığından enerji akısı oldukça yüksektir. Soğutma fanlarını veya su soğutucularını mutlaka kontrol edin. Eğer gövde aşırı ısınırsa sorun yaşarsınız.