Op de productielijn leer je al snel dat kleine temperatuurschommelingen kunnen leiden tot grote problemen. Een schommeling van 0,5°C tijdens het oxidatieproces kan de integriteit van de oppervlaktescherming van de chip beschadigen. In de lithografie leiden zelfs kleine fouten in de temperatuurregeling tot variaties in de dikte van de laag die wordt afgezet. Thermische reproduceerbaarheid is geen optioneel kenmerk; het is een essentieel onderdeel van het proces.
Wat er echt toe doet
We gebruiken kwartsemitters met kortegolflengte-infraroodstraling voor het verhitten van de chip. Hierdoor is er een snelle reactietijd en is de warmteafgifte minimaal. Het systeem houdt de temperatuur op een constant niveau van ±0,1°C over de hele chip. De zonecontrole zorgt ervoor dat de gewenste temperatuur behouden blijft, zelfs wanneer de belasting verandert. Dit systeem past in schoonruimtes van klasse 1–100. De gebruikte materialen en verbindingen zijn zo gekozen dat er zo min mogelijk deeltjes worden gegenereerd en er weinig gas vrijkomt. Tijdens het verhitten van de fotoresist worden de temperaturen nauwkeurig geregeld, zodat de kwaliteit van de chip behouden blijft en er minder defecten ontstaan.
Waarom dit belangrijk is in de dagelijkse productie
Bij oxidatie en diffusie is het belangrijk om de temperatuur constant te houden, zodat de dikte van de laag op het juiste niveau blijft. Bij het verwerken van fotoresist helpt nauwkeurige temperatuurregeling bij het verbeteren van de hechting en het verminderen van storingen na de blootstelling aan licht. Hierdoor kan je rekenen op een consistent procesresultaat, minder herwerkingen en kortere productietijden. Dankzij de efficiënte SWIR-technologie blijft het energieverbruik beperkt. De levensduur van de emitters betekent ook minder vervangingen en minder stilstand door onderhoud. Het resultaat is een stabiele temperatuur, shift na shift, dag na dag.
Wat je moet regelen bij installatie en onderhoud
De elementen moeten goed bevestigd worden, zodat de temperatuur constant blijft. Eventuele aanpassingen moeten in overeenstemming zijn met de bestaande geometrie van de chip. SWIR zorgt voor een snelle reactietijd en een schone warmteafgifte. Echter, de kwartscomponenten moeten zorgvuldig behandeld worden om microbarsten te voorkomen. De koppelkracht van de aansluitingen moet ook precies volgens specificaties zijn – anders ontstaan er hotspots. Plan de installatie zorgvuldig, met een geleidelijke temperatuurstijging. Vervolgens moet de temperatuur worden gemeten onder de exacte belasting van de chip, voordat deze in productie gaat.