Halogeen IR straler voor waferdrogen
Op de 300 mm-lijn draait de spin-droger af en is de wafer nog steeds nat—water gevangen in structuren, waterparels aan de randen. Gebruik je een...
Hoge precisie warmte voor wafer IR
Op de productievloer blijft de lithografiecluster doorgaan, zonder pauzeknop. De track voert de wafer aan, de resist draait, de edge bead wordt...