Op de productielijn weet je hoe snel temperatuurschwankingen op de rol met fotoresist leiden tot variaties in de dikte van de lijnen. Eén onnauwkeurige verhitting kan al zorgen dat een hele batch wordt weggegooid. We hebben een speciale verwarmingsunit ontworpen om deze variaties uit te sluiten. Hierdoor blijft de temperatuur van de hele batch constant, zodat de fotoresist bij elke verhitting dezelfde thermische omstandigheden heeft.
Wat belangrijk is We gebruiken kortegolf-infrarood-elementen voor een snelle en gerichte verhitting, met minimale luchtbeweging. De thermische uniformiteit blijft binnen ±0,1°C, en de herhalbaarheid ligt rond ±0,05°C per verhitting. De temperatuurstijging wordt beperkt tot 2°C/s, zodat de verhitting precies volgens plan verloopt. Het apparaat is ontworpen voor gebruik in zuiverruimten van klasse 1–100: er worden materialen gebruikt die weinig gassen afgeven, de verbindingen zijn schoon en het oppervlak heeft een zoete afwerking zodat er geen deeltjes vrijkomen. Het apparaat veroorzaakt geen extra deeltjes, zodat het aantal deeltjes binnen de gewenste grenzen blijft.
Dit is belangrijk in de lithografie: de verhitting van de fotoresist bepaalt immers de kwaliteit van de producten. Deze verwarmingsunit houdt de temperatuur constant, ongeacht de omgevingstemperatuur, het aantal producten of andere factoren. Hierdoor zijn er minder herwerkingsmomenten, is de precisie van de producten beter en kun je beter plannen.
De energieverbruik wordt geregeld door efficiënte elementen en slimme bediening, zodat je langere cycli kunt uitvoeren zonder dat dit invloed heeft op de kosten. Het apparaat is ontworpen voor 24/7 gebruik, met onderdelen die geschikt zijn voor langdurig gebruik en stabiele prestaties. Dit betekent minder onverwachte stilstanden en minder reserveonderdelen nodig.
Enkele praktische tips De verwarmingsunit kan gemakkelijk worden geïntegreerd, maar hij heeft wel een aparte stroombron nodig. Isolereer hem thermisch van het frame van de kar om lokale hittepunten te voorkomen. Na inschakeling moet de unit eerst even opwarmen en zich stabiliseren. Pas dan kan de verhitting beginnen, nadat de sensor heeft bevestigd dat de temperatuur op het juiste niveau is. In omgevingen met hoge luchtvochtigheid is het nodig om de vochtigheid onder controle te houden, zodat de sensor op de lange termijn nauwkeurig blijft werken.