Op het lito-vloeroppervlak mag er geen sprake zijn van compromissen bij het verhitten van de fotoresist. Een afwijking van 1°C tijdens het zachte of harde verhitten kan leiden tot ongewenste veranderingen in de belangrijkste dimensies van de chip, waardoor ook het profiel van de zijkanten wordt beïnvloed. Wanneer de chip te maken krijgt met thermische oneffenheden, heeft dat gevolgen: minder productie, herwerkingswerkzaamheden en zelfs hele partijen die moeten worden weggegooid. We hebben onze halfgeleiderlaserdiodeverwarmers zo ontworpen dat de temperatuur op het oppervlak van de chip binnen ±0,1°C blijft. Dat is immers de werkelijke tolerantie van het proces.
Wat er echt toe doet We gebruiken NIR-laserdioden met een gesloten regelcyclus, zodat de warmte snel en gericht wordt toegepast, zonder dat er hotspots op het oppervlak van de chip ontstaan. Hierdoor blijft de temperatuur over het actieve gebied binnen ±0,1°C, en is de reproduceerbaarheid tussen verschillende partijen binnen ±0,05°C. De platformen zijn ontworpen om te worden gebruikt in zuiveringsruimtes van klasse 1 tot klasse 100. De gebruikte materialen en oppervlakteafwerkingen zorgen ervoor dat er geen deeltjes ontstaan tijdens het verhitten en afkoelen. De stroomvoorziening blijft de hele tijd stabiel – we hebben apparaten die al meer dan 5.000 uur draaien zonder dat de output meer dan 5% daalt.
Waarom dit belangrijk is bij het verwerken van fotoresist De preciesheid van de temperatuur is cruciaal voor het verwijderen van oplosmiddelen, het kruislinken van moleculen en uiteindelijk ook voor de weerstand tegen etching. Met de laserdiodeverwarmers kan de thermische situatie op elk moment nauwkeurig worden geregeld, waardoor de variaties in de dimensies van de chip minimaal blijven. Ook worden de verhittingscycli korter door de snelle thermische respons. Bovendien wordt er minder energie verbruikt omdat de stroomvoorziening nauwkeurig wordt geregeld. Er zijn ook minder onderhoudsproblemen. De apparaten passen gemakkelijk in bestaande systemen, zodat je de processcontrole kunt verbeteren zonder dat de infrastructuur verandert.
Wat je moet planen Voor de installatie moet je ervoor zorgen dat de optische route goed is afgesteld en dat de afvoer- en koelingssystemen compatibel zijn. De verwarmers werken het beste wanneer de condities aan de achterkant van het substraat constant zijn. Films, restanten of vervormingen kunnen namelijk de thermische eigenschappen van het substraat beïnvloeden. Plan dus een korte testperiode in om de temperatuurprofielen vast te stellen en de regelcyclus af te stemmen op je specifieke productiestromen.