Houd je Class 100-fabriek echt schoon
Als je een Class 100-omgeving hebt, weet je vast al dat één klein stofdeeltje of een beetje uitstoot van een verwarmingselement geen klein probleem is. Het is een ramp: het beschadigt de wafer en vermindert de opbrengst.
De meeste standaardverwarmingslampen zijn niet geschikt voor dit doel. Ze geven materialen af en lekken chemicaliën. Wij hebben besloten dit op te lossen door hoogzuivere synthetische kwarts te gebruiken.
Waarom kwarts belangrijk is
Kwarts blijft chemisch inert, zelfs bij hoge temperaturen. Het geeft geen stoffen af en splijt ook niet. Bovendien wordt het oppervlak gepolijst tot een spiegelglad oppervlak, zodat er geen plekjes zijn waar stof zich kan hechten. Het blijft dus schoon.
Stroom en warmte
We hebben deze lampen ontworpen met hoge vermogensdichtheid. Door de energie in een compact kwartshuls te concentreren, ontstaat er intense infraroodstraling. Het beste van alles? Je kunt het substraat rechtstreeks verwarmen, zonder dat de hele kamer in een oven verandert.
Maar let op: je moet de stroomvoorziening goed instellen. Als je de filament te veel belast, brandt deze te snel uit. Als je het te weinig belast, duurt het lang voordat de lamp op temperatuur is, waardoor de productie tegengehouden wordt. Het gaat om het vinden van het juiste evenwicht.
Praktische aspecten
We gebruiken gestandaardiseerde aansluitingen, want een losse verbinding kan problemen veroorzaken. Een losse verbinding kan leiden tot vonken, waardoor metalen dampen vrijkomen. In een schone ruimte is dat natuurlijk lastig.
Eerlijk gezegd is hoogzuiver kwarts broos. Het kan wel hittestress weerstaan, maar als je het laat vallen of te strak vasthoudt, zal het direct breken. Je moet dus zachte bevestigingen gebruiken. Bovendien moeten de koelfans sterk genoeg zijn, zodat de behuizing niet vervormt.
Als je je fabriek wilt upgraden en ‘zero particles’ het enige belangrijke criterium is, dan passen deze lampen perfect.