
Hentikan masalah yang disebabkan oleh lampu inframerah yang rosak: Pastikan wafer anda tetap bersih walaupun lampu tersebut rosak.
Dalam sistem semikonduktor yang beroperasi dengan beban tinggi, kerosakan pada lampu inframerah merupakan masalah yang serius. Apabila tiub kuarsa tersebut rosak, ia bukan sahaja berhenti memanaskan, malah ia akan meletup. Ini akan menyebabkan serpihan kaca dan bahan kimia tumpah ke permukaan wafer. Hasil pengeluaran juga akan menurun dengan drastik.
Kami telah meluangkan banyak masa untuk mencari cara untuk mengelakkan risiko ini daripada berlaku.
Mengapa tiub kuarsa tersebut pecah?
Kebanyakan lampu pecah kerana haba tidak tersebar dengan sekata. Apabila kuasa yang digunakan sangat tinggi, bahagian tengah tiub akan menjadi sangat panas, sementara bahagian hujungnya tetap sejuk. Tekanan inilah yang menyebabkan tiub tersebut pecah.
Untuk mengatasi masalah ini, kami menggunakan kuarsa sintetik yang berkualiti tinggi. Kuarsa jenis ini tidak mengembang atau mengecut sebanyak kuarsa biasa. Ini bermakna tiub tersebut dapat bertahan walaupun terdedah kepada perubahan suhu yang cepat, tanpa mengalami retakan kecil yang boleh menyebabkan kerosakan. Ia direka khusus untuk menahan tekanan tersebut.
Langkah keselamatan tambahan
Tetapi, kita harus realistik: komponen-komponen tersebut tetap boleh rosak. Jadi, kami tidak hanya bergantung pada kuarsa untuk melindungi wafer tersebut. Kami juga menambah lapisan perlindungan tambahan – lapisan pelindung yang berfungsi sebagai perisai di sekeliling elemen pemanas. Jika lampu di dalamnya pecah, lapisan pelindung ini akan menampung semua serpihan tersebut. Dengan cara ini, wafer akan tetap bersih.
Selain itu, terdapat juga penutup pada kedua-dua hujung tiub. Jika penutup tersebut lemah, gas akan bocor keluar, dan filamen lampu akan rosak lebih cepat. Kami melakukan ujian vakum pada setiap penutup untuk memastikan suasana di dalam tiub kekal stabil selama ribuan jam.
Kompromi yang perlu diterima
Namun, ada satu kelemahan. Dengan adanya lapisan pelindung antara sumber haba dan wafer, sedikit cahaya inframerah akan hilang. Anda mungkin perlu meningkatkan kuasa pemanasan atau memberi masa yang lebih lama agar wafer mencapai suhu yang diinginkan.
Ia merupakan penyesuaian kecil pada proses pengeluaran. Namun, berbanding dengan kos yang perlu ditanggung jika keseluruhan kumpulan wafer rosak akibat kerosakan lampu, ini merupakan pilihan yang lebih baik.