Pemanas untuk mengeringkan wafer selepas proses CMP
Dalam proses pembersihan selepas CMP, haba yang digunakan akan meninggalkan titisan kecil pada permukaan wafer. Titisan-titisan ini boleh menyebabkan...
Lampu pengeringan wafer sel suria
Dalam proses pengeringan wafer, ia bukan sekadar proses pasif yang boleh diabaikan. Ia merupakan langkah terakhir dalam proses pemanasan sebelum...