נורת חימום לליתוגרפיה של קנון

בשטח הייצור, ניתן לשלוט בעובי שכבת הפוטורזיסט במהלך תהליך החימום – אין אפשרות להתעלם מהגורמים האלו. שינויים של מספר מעלות במהלך החימום יגרמו לשינויים...