מפיץ IR הלוגני לייבוש וופרים
בקו ה-300 מ"מ, מחזור ייבוש הספין מסתיים והוופרט עדיין רטוב—מים כלואים בתכונות, מים מצטברים בקצוות. חימום עם פלטה חמה קונבנציונלית עלול לגרום...
חום דיוק גבוה עבור IR של וויפר
בחדר הייצור, אשכול הליתוגרפיה ממשיך לפעול ללא הפסקה. המסילה מזינה את הוופר, הרזיסט מסתובב, הקצה מתנקז והאפייה חייבת להתרחש בתוך חלון תרמי הדוק – בכל...