תפסיקו לאפשר למערכות החימום שלכם לפגוע במוצרים שלכם בחדר נקי מסוג Class 100, די בנקודת אבק קטנה אחת כדי להרוס כל סדרה של מוצרים. זו סיוט אמיתי. רוב...

עצרו את השברים: שמירה על ניקיון הוופרים במהלך ייבוש באמצעות אור אינפרא-אדום אם אתם עוסקים בייצור חיישני MEMS, אתם יודעים ששלב הייבוש הוא שלב שבו...

בשלב לאחר ה-CMP, הרחצה שנעשית לאחר מכן יוצרת טיפות זעירות, שעלולות להפוך לפגמים אם פרופיל הייבוש משתנה. שינוי של מעט יותר ממעלה אחת בטמפרטורה עלול...

בתהליך ייבוש הוופרים, מדובר בשלב קריטי – זו הדלת התרמית האחרונה לפני שהמבנה של הוופר נקבע לחלוטין. אם ישנה עדיין קצת לחות, או אם פרופיל החימום משתנה...

בקו ה-300 מ"מ, מחזור ייבוש הספין מסתיים והוופרט עדיין רטוב—מים כלואים בתכונות, מים מצטברים בקצוות. חימום עם פלטה חמה קונבנציונלית עלול לגרום...