Émetteur IR halogène pour le séchage des plaquettes
Sur la ligne 300 mm, le cycle de séchage par essorage ralentit et la plaquette est encore humide — de l’eau piégée dans les reliefs, des gouttes...
Chaleur haute précision pour wafer IR
Sur le plancher de production, le cluster de lithographie continue de fonctionner sans interruption. La piste alimente le wafer, la couche de résine...