Élément chauffant par oxydation de la wafer
Sur le site de fabrication, on apprend rapidement que de petites variations de température peuvent se transformer en gros problèmes. Une variation de...
Chaleur haute précision pour wafer IR
Sur le plancher de production, le cluster de lithographie continue de fonctionner sans interruption. La piste alimente le wafer, la couche de résine...