در میز خیس، گرادیانهای حرارتی ناشی از شستشو از نوع بیصدا هستند - آنهایی که به آرامی بازده را کاهش میدهند. هیترهای استاندارد نمیتوانند ویفرها را به طور تمیز خشک کنند بدون اینکه حبابهای لبهای باقی بگذارند یا به فوتورزیست فشار بیاورند. وقتی یکنواختی حرارتی تغییر میکند، خط تولید متوقف میشود. همینطور.
کنترل حرارتی زیر میلیمتری با گرمایش مادون قرمز ما لامپهای مادون قرمز ضد آب خود را برای مرحله شستشو بر اساس مادون قرمز موج کوتاه ساختهایم، بنابراین میدان حرارتی تا مقیاس زیر میلیمتری کنترل میشود. آرایه تابشدهنده برای پاسخ سریع و پروفایلهای دمای قابل تکرار تنظیم شده است و یکنواختی در سطح ویفر را در ±0.1°C حفظ میکند. این عدد آزمایشگاهی نیست - این از خروجی طیفی کنترلشده، فاصله دقیق لامپ تا ویفر و مدیریت حرارتی حلقه بسته ناشی میشود.
در دنیای واقعی، این به این معناست که شرایط پخت نرم و پخت سخت شما ثابت میماند، حتی پس از یک چرخه شستشوی شدید. هیچ سورپرایزی بر روی فوتورزیست وجود ندارد.
چرا در کار شستشوی نیمههادیها مؤثر است در انتقال از شستشو به خشک کردن، لامپ در جایی که باید باشد ضد آب باقی میماند، بنابراین هنگام گرم کردن ویفر نگرانیهای الکتریکی ندارید. انرژی در جایی که میخواهید فرود میآید و گرمایش پارازیتی تجهیزات و هوای اطراف اتاق تمیز به میزان کمتری است.
سود: زمانهای خشک شدن کوتاهتر، تولید ذرات کمتر و کنترل ابعاد بحرانی پایدار. تغییرپذیری بودجه حرارتی کاهش مییابد، ضایعات کاهش مییابد و خط تولید به حرکت خود ادامه میدهد. این واحدها بیش از ۵۰۰۰ ساعت کار میکنند با کمتر از ۵% کاهش خروجی، که برای عملیات ۲۴/۷ مورد نیاز است.
نکات نصب و راهاندازی تراکم نصب محکم است - اگر میخواهید یکنواختی حفظ شود، همراستایی لامپ را در ±0.2 mm نگه دارید. لامپ بهترین عملکرد را با آب دیونیزه شده دارد؛ استفاده خشک باعث ایجاد نقاط داغ و کاهش عمر تابشدهنده میشود.
شما در حین گرم شدن شاهد کشش انرژی کمی بالاتر خواهید بود، سپس در عرض چند ثانیه به توان ثابت میرسد. در اتاقهای تمیز کلاس ۱–۱۰۰، لامپ را با اگزوز و حفاظ مشخصشده جفت کنید تا کنترل ذرات دقیق و ثبات حرارتی را در جایی که باید باشد حفظ کنید.