دیگر اجازه ندهید که هیترها، وافرهای شما را خراب کنند! در اتاق‌های تمیز درجه ۱۰۰، حتی یک ذره گرد و غبار کافیست تا کل محموله مورد استفاده از بین برود....

جلوگیری از ورود ذرات خطرناک: حفظ تمیزی ویفرها در فرآیند خشک‌کردن با استفاده از امواج مادون قرمز اگر در زمینه تولید سنسورهای MEMS کار می‌کنید،...

در مرحله پس از CMP، شستشو با مواد خاص باعث ایجاد قطرات ریزی می‌شود؛ اگر فرآیند خشک کردن دچار تغییر شود، این قطرات می‌توانند به نقص‌هایی در سطح ویفر...

در فرآیند خشک کردن ویفرها، این کار صرفاً یک عملیت ساده نیست؛ بلکه آخرین مرحله حرارتی برای تثبیت ساختار ویفر است. حتی وجود مقدار کمی رطوبت، یا...

در خط 300 mm، چرخه خشک‌کن اسپین کاهش می‌یابد و ویفر هنوز خیس است—آب در شیارها و حفره‌ها گرفتار شده و در لبه‌ها به صورت قطره جمع شده است. اگر از صفحه...