چرا لامپهای مادون قرمز پوشیده شده با طلا، گزینهای عالی برای فرآوری ویفرها هستند؟
در کارخانههای تولید نیمههادی، همواره با مشکل گرما سروکار داریم. برای انجام کار به درستی، نیاز به سرعت و دقت بالا وجود دارد؛ اما اگر اشتباهی رخ دهد، مدارهای الکترونیکی خراب خواهند شد. این یک چالش بزرگ است. در همین جاست که لامپهای مادون قرمز با پوشش طلا وارد صحنه میشوند.
این لامپها، عناصر گرمایشی معمولی نیستند؛ آنها برای انتقال مقدار زیادی انرژی به ویفرها، به سرعت، طراحی شدهاند.
راز، در طلاست.
معمولاً، لامپهای کوارتز، انرژی را به صورت یکسان پخش میکنند؛ اما وقتی لایه نازک طلا روی کوارتز قرار میگیرد، همه چیز تغییر میکند. طلا مانند یک آینه عمل کرده و انرژی بیشتری را به طیف مادون قرمز منتقل میکند.
نتیجه چیست؟ گرما فقط روی سطح ویفر باقی نمیماند؛ بلکه به درون آن نفوذ میکند. در نتیجه، زمان لازم برای رسیدن به دمای مورد نظر کاهش مییابد. همچنین، چون انرژی بیشتری صرف گرم کردن هوای اطراف ویفر نمیشود، میزان کربن تولید شده نیز کاهش مییابد. این روش کاملاً منطقی است.
مقابله با بار حرارتی
وقتی که با ویفرهای ۳۰۰ میلیمتری کار میکنیم، دمای معمولی کافی نیست؛ بلکه نیاز به تراکم انرژی بالاتری وجود دارد تا از ایجاد نقاط سرد در ویفر جلوگیری شود.
مزیت لامپهای مادون قرمز پوشیده شده با طلا این است که انرژی را به طور متمرکز منتقل میکنند؛ بنابراین سایر بخشهای دستگاه گرم نمیشوند.
اما مشکل اینجاست که نمیتوان از سیستمهای خنککننده چشمپوشی کرد؛ این لامپها مقدار زیادی انرژی تولید میکنند. اگر سیستم خنککنندگی شما کافی نباشد، فیلامنتها خیلی سریع خراب خواهند شد. برای جلوگیری از این مشکل، باید دستگاه را خنک نگه داشت؛ در این صورت، لامپها نیز میتوانند مدت زمان بیشتری کار کنند.
تمیز کردن فرآیند
اگر هنوز از روشهای گرمایشی معمولی یا لامپهای مادون قرمز با طول موج بلند استفاده میکنید، در واقع پول و انرژی زیادی را هدر میدهید.
تغییر به لامپهای مادون قرمز پوشیده شده با طلا، معمولاً یک تغییر ساده برای سیستمهای قدیمی است. کافی است آنها را به کنترلر دقیق متصل کنید؛ در نتیجه، در عرض چند ثانیه به دمای مورد نظر خواهید رسید. این روش، روشی سریعتر برای انجام کار است؛ همچنین، میزان انرژی هدر رفته نیز کاهش مییابد. این روش، آسانترین راه برای دستیابی به اهداف «کارخانه سبز» بدون کاهش کیفیت تولید است. کمترین میزان انرژی مصرفی برای هر تراشه، برای همه منافعی دارد.